固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2009年
2期
202-205,275
,共5页
戴新峰%郁元卫%贾世星%朱健%於晓峰%丁玉宁
戴新峰%鬱元衛%賈世星%硃健%於曉峰%丁玉寧
대신봉%욱원위%가세성%주건%어효봉%정옥저
毫米波%硅基微机械%屏蔽膜微带线%滤波器
毫米波%硅基微機械%屏蔽膜微帶線%濾波器
호미파%규기미궤계%병폐막미대선%려파기
介绍了一种屏蔽膜微带线,该型传输线为介质薄膜所支撑,周围为空气,并为金属面所屏蔽,具有可忽略不计的衬底损耗及色散效应,以及很小的辐射损耗.运用HFSS三维电磁场仿真软件对毫米波屏蔽膜微带线与滤波器进行了仿真设计,运用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上进行了样品的研制.样品取得了良好的测试结果,其中屏蔽膜微带线插入损耗小于0.1 dB/mm.
介紹瞭一種屏蔽膜微帶線,該型傳輸線為介質薄膜所支撐,週圍為空氣,併為金屬麵所屏蔽,具有可忽略不計的襯底損耗及色散效應,以及很小的輻射損耗.運用HFSS三維電磁場倣真軟件對毫米波屏蔽膜微帶線與濾波器進行瞭倣真設計,運用MEMS工藝在兩層高阻硅襯底上進行瞭樣品的研製.樣品取得瞭良好的測試結果,其中屏蔽膜微帶線插入損耗小于0.1 dB/mm.
개소료일충병폐막미대선,해형전수선위개질박막소지탱,주위위공기,병위금속면소병폐,구유가홀략불계적츤저손모급색산효응,이급흔소적복사손모.운용HFSS삼유전자장방진연건대호미파병폐막미대선여려파기진행료방진설계,운용MEMS공예재량층고조규츤저상진행료양품적연제.양품취득료량호적측시결과,기중병폐막미대선삽입손모소우0.1 dB/mm.
