兵工学报
兵工學報
병공학보
ACTA ARMAMENTARII
2010年
5期
624-630
,共7页
机械学%纳米压印光刻技术%精密定位工作台%工作空间分析%优化设计
機械學%納米壓印光刻技術%精密定位工作檯%工作空間分析%優化設計
궤계학%납미압인광각기술%정밀정위공작태%공작공간분석%우화설계
针对纳米压印光刻技术(NIL)过程中的纳米级空间定位要求,设计了一种采用柔性并联构型和压电陶瓷驱动的三自由度精密定位工作台.基于伪刚体(PRB)模型理论将柔性铰链等效为理想转动副和线性扭簧,建立了精密定位平台的PRB模型,并以此分析了该类工作台的逆运动学特性;根据弹性铰链转角范围所限定的约束条件分析了定位工作台的工作空间.另外,为了达到以预定的全局条件数为约束条件的最大工作空间体积,对工作台结构参数进行优化,并通过数值仿真验证其有效性.
針對納米壓印光刻技術(NIL)過程中的納米級空間定位要求,設計瞭一種採用柔性併聯構型和壓電陶瓷驅動的三自由度精密定位工作檯.基于偽剛體(PRB)模型理論將柔性鉸鏈等效為理想轉動副和線性扭簧,建立瞭精密定位平檯的PRB模型,併以此分析瞭該類工作檯的逆運動學特性;根據彈性鉸鏈轉角範圍所限定的約束條件分析瞭定位工作檯的工作空間.另外,為瞭達到以預定的全跼條件數為約束條件的最大工作空間體積,對工作檯結構參數進行優化,併通過數值倣真驗證其有效性.
침대납미압인광각기술(NIL)과정중적납미급공간정위요구,설계료일충채용유성병련구형화압전도자구동적삼자유도정밀정위공작태.기우위강체(PRB)모형이론장유성교련등효위이상전동부화선성뉴황,건립료정밀정위평태적PRB모형,병이차분석료해류공작태적역운동학특성;근거탄성교련전각범위소한정적약속조건분석료정위공작태적공작공간.령외,위료체도이예정적전국조건수위약속조건적최대공작공간체적,대공작태결구삼수진행우화,병통과수치방진험증기유효성.
