国防科技大学学报
國防科技大學學報
국방과기대학학보
JOURNAL OF NATIONAL UNIVERSITY OF DEFENSE TECHNOLOGY
2011年
1期
100-104
,共5页
廖文林%戴一帆%周林%王建敏%袁征%解旭辉
廖文林%戴一帆%週林%王建敏%袁徵%解旭輝
료문림%대일범%주림%왕건민%원정%해욱휘
离子束抛光%离轴非球面%去除函数%材料去除特性
離子束拋光%離軸非毬麵%去除函數%材料去除特性
리자속포광%리축비구면%거제함수%재료거제특성
采用一种简单的方法使用线性三轴离子束系统实现了矩形离轴非球面镜的抛光加工.根据离子束材料去除机理,分析了去除函数的法向材料去除特性,并且以去除函数束径、峰值去除速率和体积去除速率为指标,评价了入射角的小扰动鲁棒性.利用相关的分析和实验结果,对矩形离轴镜的抛光加工进行了合理的简化,并在自行研制的离子束抛光机床上进行了修形试验,经过多次迭代加工后,总计用时584min,其面形精度均方根误差RMS由初始的0.295λ,提高到0.046λ,收敛率达到了6.4.实验结果表明,利用离子束抛光独特的材料去除特性,能够有效地改善面形精度,可以对非球面镜进行高效高精度修形.
採用一種簡單的方法使用線性三軸離子束繫統實現瞭矩形離軸非毬麵鏡的拋光加工.根據離子束材料去除機理,分析瞭去除函數的法嚮材料去除特性,併且以去除函數束徑、峰值去除速率和體積去除速率為指標,評價瞭入射角的小擾動魯棒性.利用相關的分析和實驗結果,對矩形離軸鏡的拋光加工進行瞭閤理的簡化,併在自行研製的離子束拋光機床上進行瞭脩形試驗,經過多次迭代加工後,總計用時584min,其麵形精度均方根誤差RMS由初始的0.295λ,提高到0.046λ,收斂率達到瞭6.4.實驗結果錶明,利用離子束拋光獨特的材料去除特性,能夠有效地改善麵形精度,可以對非毬麵鏡進行高效高精度脩形.
채용일충간단적방법사용선성삼축리자속계통실현료구형리축비구면경적포광가공.근거리자속재료거제궤리,분석료거제함수적법향재료거제특성,병차이거제함수속경、봉치거제속솔화체적거제속솔위지표,평개료입사각적소우동로봉성.이용상관적분석화실험결과,대구형리축경적포광가공진행료합리적간화,병재자행연제적리자속포광궤상상진행료수형시험,경과다차질대가공후,총계용시584min,기면형정도균방근오차RMS유초시적0.295λ,제고도0.046λ,수렴솔체도료6.4.실험결과표명,이용리자속포광독특적재료거제특성,능구유효지개선면형정도,가이대비구면경진행고효고정도수형.
