辽宁工程技术大学学报(自然科学版)
遼寧工程技術大學學報(自然科學版)
료녕공정기술대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF LIAONING TECHNICAL UNIVERSITY NATURAL SCIENCE EDITION
2011年
1期
150-153
,共4页
吴迪%部德才%段萍%宫野
吳迪%部德纔%段萍%宮野
오적%부덕재%단평%궁야
脉冲离子束%流体动力学方程%数值方法
脈遲離子束%流體動力學方程%數值方法
맥충리자속%류체동역학방정%수치방법
为了研究强流脉冲离子束(HIPIB)辐照靶材产生烧蚀等离子体向真空中喷发的机制,建立了与HIPIB 烧蚀靶材形状相关的沿变截面管道流动的等离子体喷发动力学模型,并以烧蚀结果为初始条件采用数值方法计算了喷发等离子体压力、密度及速度的时空演化规律.结果表明:密度演化结果与一维明显不同,随时间增加峰值先增加而后再减小,且逐渐趋于平缓,存在峰值位置,说明薄膜的形成与基片相对靶材位置是相关的.该结果对HIPIB辐照进行薄膜生长具有一定的参考价值和指导意义.
為瞭研究彊流脈遲離子束(HIPIB)輻照靶材產生燒蝕等離子體嚮真空中噴髮的機製,建立瞭與HIPIB 燒蝕靶材形狀相關的沿變截麵管道流動的等離子體噴髮動力學模型,併以燒蝕結果為初始條件採用數值方法計算瞭噴髮等離子體壓力、密度及速度的時空縯化規律.結果錶明:密度縯化結果與一維明顯不同,隨時間增加峰值先增加而後再減小,且逐漸趨于平緩,存在峰值位置,說明薄膜的形成與基片相對靶材位置是相關的.該結果對HIPIB輻照進行薄膜生長具有一定的參攷價值和指導意義.
위료연구강류맥충리자속(HIPIB)복조파재산생소식등리자체향진공중분발적궤제,건립료여HIPIB 소식파재형상상관적연변절면관도류동적등리자체분발동역학모형,병이소식결과위초시조건채용수치방법계산료분발등리자체압력、밀도급속도적시공연화규률.결과표명:밀도연화결과여일유명현불동,수시간증가봉치선증가이후재감소,차축점추우평완,존재봉치위치,설명박막적형성여기편상대파재위치시상관적.해결과대HIPIB복조진행박막생장구유일정적삼고개치화지도의의.
