传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
7期
67-69,83
,共4页
张雯%李东升%禹静%尹健龙
張雯%李東升%禹靜%尹健龍
장문%리동승%우정%윤건룡
气体静压导轨%气膜厚度%气体静压节流器%电容式测试方法
氣體靜壓導軌%氣膜厚度%氣體靜壓節流器%電容式測試方法
기체정압도궤%기막후도%기체정압절류기%전용식측시방법
气体静压导轨是超精密工程的核心基础技术之一,其气膜振动是影响加工精度的主要因素.提出了一种气体静压导轨气膜厚度的电容式测试方法,将气体静压导轨的节流器工作底面与实验台面当作电容式传感器的2个极板,当气膜厚度发生变化时,电容将产生较大变化.通过测量节流器与工作面间的电容,计算得到气膜厚度值.同时建立了不同凹面节流器电容与气膜厚度的数学模型.实验利用电容测量仪与电感测微测头同时对气膜厚度进行测量,结果显示两者误差为0.42 μm,为气体静压导轨气膜厚度的测量提供了新的方法.
氣體靜壓導軌是超精密工程的覈心基礎技術之一,其氣膜振動是影響加工精度的主要因素.提齣瞭一種氣體靜壓導軌氣膜厚度的電容式測試方法,將氣體靜壓導軌的節流器工作底麵與實驗檯麵噹作電容式傳感器的2箇極闆,噹氣膜厚度髮生變化時,電容將產生較大變化.通過測量節流器與工作麵間的電容,計算得到氣膜厚度值.同時建立瞭不同凹麵節流器電容與氣膜厚度的數學模型.實驗利用電容測量儀與電感測微測頭同時對氣膜厚度進行測量,結果顯示兩者誤差為0.42 μm,為氣體靜壓導軌氣膜厚度的測量提供瞭新的方法.
기체정압도궤시초정밀공정적핵심기출기술지일,기기막진동시영향가공정도적주요인소.제출료일충기체정압도궤기막후도적전용식측시방법,장기체정압도궤적절류기공작저면여실험태면당작전용식전감기적2개겁판,당기막후도발생변화시,전용장산생교대변화.통과측량절류기여공작면간적전용,계산득도기막후도치.동시건립료불동요면절류기전용여기막후도적수학모형.실험이용전용측량의여전감측미측두동시대기막후도진행측량,결과현시량자오차위0.42 μm,위기체정압도궤기막후도적측량제공료신적방법.
