微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2012年
7期
467-470
,共4页
康中波%韩国威%司朝伟%钟卫威%赵永梅%宁瑾
康中波%韓國威%司朝偉%鐘衛威%趙永梅%寧瑾
강중파%한국위%사조위%종위위%조영매%저근
射频微机电系统(RF MEMS)%滤波器%谐振原理%碳化硅%亚微米间隙
射頻微機電繫統(RF MEMS)%濾波器%諧振原理%碳化硅%亞微米間隙
사빈미궤전계통(RF MEMS)%려파기%해진원리%탄화규%아미미간극
采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器.详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结果,并对测试结果做出分析.该RF MEMS滤波器由弹性耦合梁连接两个结构尺寸和谐振频率完全相同的MEMS双端固支梁谐振器构成,MEMS谐振器的结构决定了滤波器的中心频率,弹性耦合梁的刚度决定了滤波器的带宽.在大气环境下测试器件的频响特性,得到中心工作频率为41.5MHz,带宽为3.5MHz,品质因数Q为11.8.
採用與IC工藝兼容的硅錶麵MEMS加工技術,以碳化硅材料作為結構材料,研製齣一種新型的基于諧振原理工作的RF MEMS濾波器.詳細介紹瞭器件的工作原理、製備方法、測試技術和結果,併對測試結果做齣分析.該RF MEMS濾波器由彈性耦閤樑連接兩箇結構呎吋和諧振頻率完全相同的MEMS雙耑固支樑諧振器構成,MEMS諧振器的結構決定瞭濾波器的中心頻率,彈性耦閤樑的剛度決定瞭濾波器的帶寬.在大氣環境下測試器件的頻響特性,得到中心工作頻率為41.5MHz,帶寬為3.5MHz,品質因數Q為11.8.
채용여IC공예겸용적규표면MEMS가공기술,이탄화규재료작위결구재료,연제출일충신형적기우해진원리공작적RF MEMS려파기.상세개소료기건적공작원리、제비방법、측시기술화결과,병대측시결과주출분석.해RF MEMS려파기유탄성우합량련접량개결구척촌화해진빈솔완전상동적MEMS쌍단고지량해진기구성,MEMS해진기적결구결정료려파기적중심빈솔,탄성우합량적강도결정료려파기적대관.재대기배경하측시기건적빈향특성,득도중심공작빈솔위41.5MHz,대관위3.5MHz,품질인수Q위11.8.
