CAJ | 학술논문

万方数据

半导体技术 반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2001年 2期 25-28 ,共4页

梁国仑%余京松樑國崙%餘京鬆

량국륜%여경송

电子气体%集成电路%气体分析仪%粒子计数電子氣體%集成電路%氣體分析儀%粒子計數
전자기체%집성전로%기체분석의%입자계수

论述了集成电路技术的发展对电子气体质量提出的更为刻苛的要求。介绍了一些相关新设备、新仪器以及新品种电子气体的应用。
논술료집성전로기술적발전대전자기체질량제출적경위각가적요구。개소료일사상관신설비、신의기이급신품충전자기체적응용。