CAJ | 학술논문

用常压MOCVD在蓝宝石(0001)面上生长了氧化锌(znO)薄膜.用AFM、室温PL谱、Hall测量、X射线双晶衍射、卢瑟福背散射/沟道技术等分析方法研究了样品的表面形貌、结构性能、发光性能和电学性能.AFM分析结果显示,薄膜呈六角柱状结晶,表面平整,粗糙度(RMS)为6.257 nnl,平均晶粒直径达1.895 μm.室温PL测量该样品在380 nm处有很强的近带边发射,半峰全宽为15 nm.使用Hall测量检查了薄膜的电学性质.室温下该样品的载流子浓度为2×1017 cm-3,迁移率为75 cm2·V-1·s-1.用X射线双晶衍射和卢瑟福背散射/沟道效应研究了薄膜的结晶质量,样品的双晶衍射ω扫描半峰全宽为0.04°,沟道效应的最小产额比χmin为3.1%.
용상압MOCVD재람보석(0001)면상생장료양화자(znO)박막.용AFM、실온PL보、Hall측량、X사선쌍정연사、로슬복배산사/구도기술등분석방법연구료양품적표면형모、결구성능、발광성능화전학성능.AFM분석결과현시,박막정륙각주상결정,표면평정,조조도(RMS)위6.257 nnl,평균정립직경체1.895 μm.실온PL측량해양품재380 nm처유흔강적근대변발사,반봉전관위15 nm.사용Hall측량검사료박막적전학성질.실온하해양품적재류자농도위2×1017 cm-3,천이솔위75 cm2·V-1·s-1.용X사선쌍정연사화로슬복배산사/구도효응연구료박막적결정질량,양품적쌍정연사ω소묘반봉전관위0.04°,구도효응적최소산액비χmin위3.1%.