材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2004年
11期
50-52,56
,共4页
任思雨%王英连%孙汪典%刘玉华
任思雨%王英連%孫汪典%劉玉華
임사우%왕영련%손왕전%류옥화
ZnO薄膜%溶胶-凝胶%磁控溅射
ZnO薄膜%溶膠-凝膠%磁控濺射
ZnO박막%용효-응효%자공천사
分别对溶胶-凝胶法和磁控溅射法制备ZnO进行了详细的介绍,并借助X射线衍射、原子力显微镜、拉曼光谱分析、紫外吸收等检测手段对这两种方法生长的薄膜进行了分析比较.分析显示:相同石英基底,相同退火温度下生长ZnO薄膜,磁控溅射法生长的ZnO薄膜要比溶胶-凝胶法生长的ZnO薄膜有更优异的c轴取向特性,生长的薄膜结晶更加均匀、致密.
分彆對溶膠-凝膠法和磁控濺射法製備ZnO進行瞭詳細的介紹,併藉助X射線衍射、原子力顯微鏡、拉曼光譜分析、紫外吸收等檢測手段對這兩種方法生長的薄膜進行瞭分析比較.分析顯示:相同石英基底,相同退火溫度下生長ZnO薄膜,磁控濺射法生長的ZnO薄膜要比溶膠-凝膠法生長的ZnO薄膜有更優異的c軸取嚮特性,生長的薄膜結晶更加均勻、緻密.
분별대용효-응효법화자공천사법제비ZnO진행료상세적개소,병차조X사선연사、원자력현미경、랍만광보분석、자외흡수등검측수단대저량충방법생장적박막진행료분석비교.분석현시:상동석영기저,상동퇴화온도하생장ZnO박막,자공천사법생장적ZnO박막요비용효-응효법생장적ZnO박막유경우이적c축취향특성,생장적박막결정경가균균、치밀.
