真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
4期
303-307
,共5页
吴志玮%丁可%顾昌鑫%孙琦%单莉英
吳誌瑋%丁可%顧昌鑫%孫琦%單莉英
오지위%정가%고창흠%손기%단리영
等离子体浸没离子注入%二维元胞粒子模拟%平面靶%剂量分布%浓度深度分布
等離子體浸沒離子註入%二維元胞粒子模擬%平麵靶%劑量分佈%濃度深度分佈
등리자체침몰리자주입%이유원포입자모의%평면파%제량분포%농도심도분포
采用二维元胞粒子模型(PIC),模拟了一个完整脉冲时段内,等离子体浸没离子注入平板靶的过程.重点研究了等离子体鞘层的时空演化规律,以及入射离子流密度、入射离子角度与能量的分布,由此得到了注入离子剂量在靶表面的分布.模型结果表明:等离子体鞘层的扩展先快后慢,且形状由椭圆柱形向圆柱形演化,对靶的保形性逐渐变差;注入离子剂量在靶表面的分布不均匀,在边角附近出现峰值;同时,在得到的入射离子信息基础上,对注入离子在改性层中的浓度深度分布研究表明,在靶的不同位置注入的离子在改性层中的浓度深度分布有显著差别,在靶边角处,注入离子的保留剂量很低,投影射程浅,浓度深度分布展宽较窄.
採用二維元胞粒子模型(PIC),模擬瞭一箇完整脈遲時段內,等離子體浸沒離子註入平闆靶的過程.重點研究瞭等離子體鞘層的時空縯化規律,以及入射離子流密度、入射離子角度與能量的分佈,由此得到瞭註入離子劑量在靶錶麵的分佈.模型結果錶明:等離子體鞘層的擴展先快後慢,且形狀由橢圓柱形嚮圓柱形縯化,對靶的保形性逐漸變差;註入離子劑量在靶錶麵的分佈不均勻,在邊角附近齣現峰值;同時,在得到的入射離子信息基礎上,對註入離子在改性層中的濃度深度分佈研究錶明,在靶的不同位置註入的離子在改性層中的濃度深度分佈有顯著差彆,在靶邊角處,註入離子的保留劑量很低,投影射程淺,濃度深度分佈展寬較窄.
채용이유원포입자모형(PIC),모의료일개완정맥충시단내,등리자체침몰리자주입평판파적과정.중점연구료등리자체초층적시공연화규률,이급입사리자류밀도、입사리자각도여능량적분포,유차득도료주입리자제량재파표면적분포.모형결과표명:등리자체초층적확전선쾌후만,차형상유타원주형향원주형연화,대파적보형성축점변차;주입리자제량재파표면적분포불균균,재변각부근출현봉치;동시,재득도적입사리자신식기출상,대주입리자재개성층중적농도심도분포연구표명,재파적불동위치주입적리자재개성층중적농도심도분포유현저차별,재파변각처,주입리자적보류제량흔저,투영사정천,농도심도분포전관교착.
