西安电子科技大学学报（自然科学版）
西安電子科技大學學報（自然科學版）
서안전자과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIDIAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2007年
2期
227-232
,共6页
单光宝%杨银堂%刘佑宝%朱樟明
單光寶%楊銀堂%劉祐寶%硃樟明
단광보%양은당%류우보%주장명
微电子机械系统集总建模%微电子机械系统系统仿真%硅微陀螺仪
微電子機械繫統集總建模%微電子機械繫統繫統倣真%硅微陀螺儀
미전자궤계계통집총건모%미전자궤계계통계통방진%규미타라의
提出了硅微陀螺仪的集总建模方法.该方法将硅微陀螺仪划分为多个相互关联的基本单元,各基本单元的行为特征被集总到单元的节点端口上,并表征为矩阵形式.将根据物体相对运动理论,从基本单元的解析方程出发,给出了建立硅微陀螺仪基本单元模型的一般方法,并以Verilog-A为模型编码语言实现了硅微陀螺仪参数化的基本单元模型.在Cadence Spectre上进行了仿真验证,频域仿真结果与ANSYS计算结果相差在1%以内;时域仿真结果表明利用该系统级模型能够快速进行复杂机电一体仿真.
提齣瞭硅微陀螺儀的集總建模方法.該方法將硅微陀螺儀劃分為多箇相互關聯的基本單元,各基本單元的行為特徵被集總到單元的節點耑口上,併錶徵為矩陣形式.將根據物體相對運動理論,從基本單元的解析方程齣髮,給齣瞭建立硅微陀螺儀基本單元模型的一般方法,併以Verilog-A為模型編碼語言實現瞭硅微陀螺儀參數化的基本單元模型.在Cadence Spectre上進行瞭倣真驗證,頻域倣真結果與ANSYS計算結果相差在1%以內;時域倣真結果錶明利用該繫統級模型能夠快速進行複雜機電一體倣真.
제출료규미타라의적집총건모방법.해방법장규미타라의화분위다개상호관련적기본단원,각기본단원적행위특정피집총도단원적절점단구상,병표정위구진형식.장근거물체상대운동이론,종기본단원적해석방정출발,급출료건립규미타라의기본단원모형적일반방법,병이Verilog-A위모형편마어언실현료규미타라의삼수화적기본단원모형.재Cadence Spectre상진행료방진험증,빈역방진결과여ANSYS계산결과상차재1%이내;시역방진결과표명이용해계통급모형능구쾌속진행복잡궤전일체방진.
