固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2007年
3期
361-365
,共5页
郭兴龙%蔡描%刘蕾%游淑珍%赖宗声
郭興龍%蔡描%劉蕾%遊淑珍%賴宗聲
곽흥룡%채묘%류뢰%유숙진%뢰종성
微小天线%高电阻率硅片%集成电路工艺
微小天線%高電阻率硅片%集成電路工藝
미소천선%고전조솔규편%집성전로공예
采角微电子工艺在高电阻率硅片上设计和制备了一种新颖紧凑共平面波导馈电天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,经过实验测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5 dB,谐振频率约为3 GHz,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容,并且对于无人驾驶飞机、卫星等飞行器的雷达和通讯等天线系统的设计具有参考价值.
採角微電子工藝在高電阻率硅片上設計和製備瞭一種新穎緊湊共平麵波導饋電天線,併對其進行瞭倣真和測試,模擬和測試結果比較吻閤,經過實驗測試得到天線為水平和垂直雙嚮輻射,天線的增益約為2.5 dB,諧振頻率約為3 GHz,此天線有利于天線集成和與CMOS工藝等的兼容,併且對于無人駕駛飛機、衛星等飛行器的雷達和通訊等天線繫統的設計具有參攷價值.
채각미전자공예재고전조솔규편상설계화제비료일충신영긴주공평면파도궤전천선,병대기진행료방진화측시,모의화측시결과비교문합,경과실험측시득도천선위수평화수직쌍향복사,천선적증익약위2.5 dB,해진빈솔약위3 GHz,차천선유리우천선집성화여CMOS공예등적겸용,병차대우무인가사비궤、위성등비행기적뢰체화통신등천선계통적설계구유삼고개치.
