光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2008年
6期
10-15
,共6页
胡长德%陆加海%幸蜒%高娟
鬍長德%陸加海%倖蜒%高娟
호장덕%륙가해%행연%고연
激光干涉%直线度误差%长导轨%对比实验
激光榦涉%直線度誤差%長導軌%對比實驗
격광간섭%직선도오차%장도궤%대비실험
介绍了一种基于激光干涉的长导轨直线度误差测量系统.由氦氖激光器产生激光光束,经准直后投射到被置于被测导轨上作为接收靶的楔形光学玻璃板上,产生干涉.将接收靶沿被测导轨移动,如果导轨有直线度误差,则接收靶过桥与导轨的接触点所形成的直线角度发生变化,导致干涉条纹发生移动,通过检测干涉条纹变化量就可以得到导轨的直线度误差.将光电传感器检测得到的干涉条纹移动量送入单片机系统处理,得到被测点相对于准直光束的偏移量.最后对系统进行了实测实验.实验表明:用该装置检测长度为50m的长导轨,直线度误差仅为623.103μm.
介紹瞭一種基于激光榦涉的長導軌直線度誤差測量繫統.由氦氖激光器產生激光光束,經準直後投射到被置于被測導軌上作為接收靶的楔形光學玻璃闆上,產生榦涉.將接收靶沿被測導軌移動,如果導軌有直線度誤差,則接收靶過橋與導軌的接觸點所形成的直線角度髮生變化,導緻榦涉條紋髮生移動,通過檢測榦涉條紋變化量就可以得到導軌的直線度誤差.將光電傳感器檢測得到的榦涉條紋移動量送入單片機繫統處理,得到被測點相對于準直光束的偏移量.最後對繫統進行瞭實測實驗.實驗錶明:用該裝置檢測長度為50m的長導軌,直線度誤差僅為623.103μm.
개소료일충기우격광간섭적장도궤직선도오차측량계통.유양내격광기산생격광광속,경준직후투사도피치우피측도궤상작위접수파적설형광학파리판상,산생간섭.장접수파연피측도궤이동,여과도궤유직선도오차,칙접수파과교여도궤적접촉점소형성적직선각도발생변화,도치간섭조문발생이동,통과검측간섭조문변화량취가이득도도궤적직선도오차.장광전전감기검측득도적간섭조문이동량송입단편궤계통처리,득도피측점상대우준직광속적편이량.최후대계통진행료실측실험.실험표명:용해장치검측장도위50m적장도궤,직선도오차부위623.103μm.
