真空
真空
진공
VACUUM
2009年
1期
17-21
,共5页
光磊%徐军%张明明%陆文琪%赵艳艳
光磊%徐軍%張明明%陸文琪%趙豔豔
광뢰%서군%장명명%륙문기%조염염
CNx薄膜%N/C比%折射率%介电常数%电子极化
CNx薄膜%N/C比%摺射率%介電常數%電子極化
CNx박막%N/C비%절사솔%개전상수%전자겁화
利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射(MW-ECR PEUMS)系统,在室温下制备CNx薄膜.通过傅立叶变换红外光谱、X光电子能谱表征技术以及椭偏仪测试手段,研究了N含量对CNx薄膜结构和介电性能的影响.研究结果表明,随着CNx薄膜N/C比的增大,sp3 C-N的形成受到抑制,sp2 C-N的形成增多,薄膜折射率以及介电常数电子极化贡献部分降低.
利用雙放電腔微波ECR等離子體增彊非平衡磁控濺射(MW-ECR PEUMS)繫統,在室溫下製備CNx薄膜.通過傅立葉變換紅外光譜、X光電子能譜錶徵技術以及橢偏儀測試手段,研究瞭N含量對CNx薄膜結構和介電性能的影響.研究結果錶明,隨著CNx薄膜N/C比的增大,sp3 C-N的形成受到抑製,sp2 C-N的形成增多,薄膜摺射率以及介電常數電子極化貢獻部分降低.
이용쌍방전강미파ECR등리자체증강비평형자공천사(MW-ECR PEUMS)계통,재실온하제비CNx박막.통과부립협변환홍외광보、X광전자능보표정기술이급타편의측시수단,연구료N함량대CNx박막결구화개전성능적영향.연구결과표명,수착CNx박막N/C비적증대,sp3 C-N적형성수도억제,sp2 C-N적형성증다,박막절사솔이급개전상수전자겁화공헌부분강저.
