光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2009年
6期
126-130
,共5页
汪利华%吴时彬%侯溪%匡龙%曹学东
汪利華%吳時彬%侯溪%劻龍%曹學東
왕리화%오시빈%후계%광룡%조학동
子孔径拼接%光学检测%平面波前%光学系统
子孔徑拼接%光學檢測%平麵波前%光學繫統
자공경병접%광학검측%평면파전%광학계통
介绍了子孔径拼接检测平面波前的基本原理,提出了基于均化误差和最小二乘法的多个子孔径同时拼接的数据处理方法,有效减小了误差传递和积累.用该方法对Zemax仿真的望远镜光学系统进行了子孔径拼接检测,拼接光学系统波前和直接用Zemax得到的全孔径波前对比,其峰谷值(PV)和均方根(RMS)的偏差分别为0.015 1λ和0.0016λ.并用口径为100 mm的小口径干涉仪对口径为200 mm的平面镜进行了拼接实验,将其全孔径波前与直接检测的结果对比,其峰谷值(PV)和均方根(RMS)的偏差分别为0.055 9λ和0.0004λ.实验结果表明了该算法的有效性,该方法不仅适用于检测光学元件,也适用于对光学系统平面波前检测.
介紹瞭子孔徑拼接檢測平麵波前的基本原理,提齣瞭基于均化誤差和最小二乘法的多箇子孔徑同時拼接的數據處理方法,有效減小瞭誤差傳遞和積纍.用該方法對Zemax倣真的望遠鏡光學繫統進行瞭子孔徑拼接檢測,拼接光學繫統波前和直接用Zemax得到的全孔徑波前對比,其峰穀值(PV)和均方根(RMS)的偏差分彆為0.015 1λ和0.0016λ.併用口徑為100 mm的小口徑榦涉儀對口徑為200 mm的平麵鏡進行瞭拼接實驗,將其全孔徑波前與直接檢測的結果對比,其峰穀值(PV)和均方根(RMS)的偏差分彆為0.055 9λ和0.0004λ.實驗結果錶明瞭該算法的有效性,該方法不僅適用于檢測光學元件,也適用于對光學繫統平麵波前檢測.
개소료자공경병접검측평면파전적기본원리,제출료기우균화오차화최소이승법적다개자공경동시병접적수거처리방법,유효감소료오차전체화적루.용해방법대Zemax방진적망원경광학계통진행료자공경병접검측,병접광학계통파전화직접용Zemax득도적전공경파전대비,기봉곡치(PV)화균방근(RMS)적편차분별위0.015 1λ화0.0016λ.병용구경위100 mm적소구경간섭의대구경위200 mm적평면경진행료병접실험,장기전공경파전여직접검측적결과대비,기봉곡치(PV)화균방근(RMS)적편차분별위0.055 9λ화0.0004λ.실험결과표명료해산법적유효성,해방법불부괄용우검측광학원건,야괄용우대광학계통평면파전검측.
