电光与控制
電光與控製
전광여공제
ELECTRONICS OPTICS & CONTROL
2011年
5期
59-62,79
,共5页
隐身技术%激光直写%临界角法%自动调焦%伺服系统
隱身技術%激光直寫%臨界角法%自動調焦%伺服繫統
은신기술%격광직사%림계각법%자동조초%사복계통
为同时提高金属网栅屏蔽效率及红外透过率,要求激光直写线条细且均匀.而工件面型误差、光刻胶涂布不均匀性、机械轴系误差等会造成写入焦斑离焦,影响线条线宽及均匀性.需引入聚焦伺服系统来实时探测并补偿离焦,确保写入光束实时聚焦在光刻胶面上.给出了临界角法调焦的原理,搭建了由探焦光路、离焦信号前放、压电陶瓷微位移执行机构组成的聚焦伺服系统,进行了离焦误差静态特性实验研究.实验结果表明:系统的静态分辨力为±40nm,线性范围为±5μm,均满足设计要求.
為同時提高金屬網柵屏蔽效率及紅外透過率,要求激光直寫線條細且均勻.而工件麵型誤差、光刻膠塗佈不均勻性、機械軸繫誤差等會造成寫入焦斑離焦,影響線條線寬及均勻性.需引入聚焦伺服繫統來實時探測併補償離焦,確保寫入光束實時聚焦在光刻膠麵上.給齣瞭臨界角法調焦的原理,搭建瞭由探焦光路、離焦信號前放、壓電陶瓷微位移執行機構組成的聚焦伺服繫統,進行瞭離焦誤差靜態特性實驗研究.實驗結果錶明:繫統的靜態分辨力為±40nm,線性範圍為±5μm,均滿足設計要求.
위동시제고금속망책병폐효솔급홍외투과솔,요구격광직사선조세차균균.이공건면형오차、광각효도포불균균성、궤계축계오차등회조성사입초반리초,영향선조선관급균균성.수인입취초사복계통래실시탐측병보상리초,학보사입광속실시취초재광각효면상.급출료림계각법조초적원리,탑건료유탐초광로、리초신호전방、압전도자미위이집행궤구조성적취초사복계통,진행료리초오차정태특성실험연구.실험결과표명:계통적정태분변력위±40nm,선성범위위±5μm,균만족설계요구.
