半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2011年
8期
577-581
,共5页
陈琳%李伟%戈肖鸿%车录锋
陳琳%李偉%戈肖鴻%車錄鋒
진림%리위%과초홍%차록봉
二维驱动器%塑性变形%绝缘填充槽%梳齿驱动%垂直位错
二維驅動器%塑性變形%絕緣填充槽%梳齒驅動%垂直位錯
이유구동기%소성변형%절연전충조%소치구동%수직위착
设计并制作了一种新型的基于Si塑性变形的二维驱动器,驱动器由外围垂直驱动和内部水平驱动两部分组成.驱动器的制作采用普通Si片Si-Si键合技术,首先在结构片正面制作出绝缘填充槽,以实现垂直驱动部分和水平驱动部分的电绝缘,然后利用DRIE干法刻蚀技术释放结构,最后通过Si的塑性变形工艺使驱动器外围垂直驱动部分的可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出二维梳齿驱动器.经测量,驱动器垂直驱动部分可动梳齿和固定梳齿的位错量为19.8 μm.
設計併製作瞭一種新型的基于Si塑性變形的二維驅動器,驅動器由外圍垂直驅動和內部水平驅動兩部分組成.驅動器的製作採用普通Si片Si-Si鍵閤技術,首先在結構片正麵製作齣絕緣填充槽,以實現垂直驅動部分和水平驅動部分的電絕緣,然後利用DRIE榦法刻蝕技術釋放結構,最後通過Si的塑性變形工藝使驅動器外圍垂直驅動部分的可動梳齒和固定梳齒在垂直方嚮上產生位錯,成功製作齣二維梳齒驅動器.經測量,驅動器垂直驅動部分可動梳齒和固定梳齒的位錯量為19.8 μm.
설계병제작료일충신형적기우Si소성변형적이유구동기,구동기유외위수직구동화내부수평구동량부분조성.구동기적제작채용보통Si편Si-Si건합기술,수선재결구편정면제작출절연전충조,이실현수직구동부분화수평구동부분적전절연,연후이용DRIE간법각식기술석방결구,최후통과Si적소성변형공예사구동기외위수직구동부분적가동소치화고정소치재수직방향상산생위착,성공제작출이유소치구동기.경측량,구동기수직구동부분가동소치화고정소치적위착량위19.8 μm.
