太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2011年
10期
1436-1439
,共4页
周丽华%刘成%叶晓军%钱子勍%陈鸣波
週麗華%劉成%葉曉軍%錢子勍%陳鳴波
주려화%류성%협효군%전자경%진명파
硅烷浓度%衬底温度%辉光功率%柔性衬底%nip微晶硅电池%非晶硅/微晶硅叠层电池
硅烷濃度%襯底溫度%輝光功率%柔性襯底%nip微晶硅電池%非晶硅/微晶硅疊層電池
규완농도%츤저온도%휘광공솔%유성츤저%nip미정규전지%비정규/미정규첩층전지
采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了系列本征微晶硅薄膜材料和nip单结微晶硅太阳电池,研究了硅烷浓度、衬底温度和辉光功率等沉积参数与薄膜材料性能、薄膜电池性能三者之间的关系.拉曼光谱和器件测试结果表明:随硅烷浓度的增加,本征层晶化率逐渐减小,直至转变为非晶硅；沉积温度高于200℃时,电池性能严重恶化；随等离子辉光功率增加,材料晶化率保持不变,而电池开路电压逐渐增大,短波光谱响应逐渐增强.在此基础上,优化了单结微晶硅电池沉积参数,得到效率为6.48％ (AM0,25℃)的单结微晶硅薄膜太阳电池；并将其应用到非晶硅／微晶硅叠层电池中,在不锈钢柔性衬底上得到效率为9.28％( AM0,25℃)的叠层电池.
採用等離子增彊化學氣相沉積(PECVD)技術製備瞭繫列本徵微晶硅薄膜材料和nip單結微晶硅太暘電池,研究瞭硅烷濃度、襯底溫度和輝光功率等沉積參數與薄膜材料性能、薄膜電池性能三者之間的關繫.拉曼光譜和器件測試結果錶明:隨硅烷濃度的增加,本徵層晶化率逐漸減小,直至轉變為非晶硅；沉積溫度高于200℃時,電池性能嚴重噁化；隨等離子輝光功率增加,材料晶化率保持不變,而電池開路電壓逐漸增大,短波光譜響應逐漸增彊.在此基礎上,優化瞭單結微晶硅電池沉積參數,得到效率為6.48％ (AM0,25℃)的單結微晶硅薄膜太暘電池；併將其應用到非晶硅／微晶硅疊層電池中,在不鏽鋼柔性襯底上得到效率為9.28％( AM0,25℃)的疊層電池.
채용등리자증강화학기상침적(PECVD)기술제비료계렬본정미정규박막재료화nip단결미정규태양전지,연구료규완농도、츤저온도화휘광공솔등침적삼수여박막재료성능、박막전지성능삼자지간적관계.랍만광보화기건측시결과표명:수규완농도적증가,본정층정화솔축점감소,직지전변위비정규；침적온도고우200℃시,전지성능엄중악화；수등리자휘광공솔증가,재료정화솔보지불변,이전지개로전압축점증대,단파광보향응축점증강.재차기출상,우화료단결미정규전지침적삼수,득도효솔위6.48％ (AM0,25℃)적단결미정규박막태양전지；병장기응용도비정규／미정규첩층전지중,재불수강유성츤저상득도효솔위9.28％( AM0,25℃)적첩층전지.
