光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2005年
7期
1005-1008
,共4页
顾培夫%陈海星%艾曼灵%章岳光%刘旭
顧培伕%陳海星%艾曼靈%章嶽光%劉旭
고배부%진해성%애만령%장악광%류욱
薄膜光学%消光系数%窄带滤光片%离子束溅射%TiO2薄膜
薄膜光學%消光繫數%窄帶濾光片%離子束濺射%TiO2薄膜
박막광학%소광계수%착대려광편%리자속천사%TiO2박막
基于窄带干涉滤光片的峰值透射率测量可以直接反演出薄膜的消光系数,从而得到了一种简易而又精确的评价薄膜微弱损耗的新方法.阐述了确定弱吸收薄膜消光系数的基本原理,并分析了这种评价方法的基本精度.讨论了离子束溅射TiO2薄膜的制备参量对薄膜消光系数的影响.发现溅射速率和氧分压是影响TiO2薄膜损耗的灵敏因素.在保持其它参量不变的条件下,溅射速率从0.35 nm/s下降到0.23 nm/s,TiO2薄膜的消光系数从3.9×10-5下降到2.1×10-5;辅助离子源的Ar:O比从1:2变化为1:4,对应的消光系数从5.6×10-5下降到2.3×10-5.此外,随着基板温度的提高,损耗也会有所增加.TiO2薄膜消光系数评价的合理性表明由窄带滤光片的峰值透射率来反演薄膜的消光系数是可行的.
基于窄帶榦涉濾光片的峰值透射率測量可以直接反縯齣薄膜的消光繫數,從而得到瞭一種簡易而又精確的評價薄膜微弱損耗的新方法.闡述瞭確定弱吸收薄膜消光繫數的基本原理,併分析瞭這種評價方法的基本精度.討論瞭離子束濺射TiO2薄膜的製備參量對薄膜消光繫數的影響.髮現濺射速率和氧分壓是影響TiO2薄膜損耗的靈敏因素.在保持其它參量不變的條件下,濺射速率從0.35 nm/s下降到0.23 nm/s,TiO2薄膜的消光繫數從3.9×10-5下降到2.1×10-5;輔助離子源的Ar:O比從1:2變化為1:4,對應的消光繫數從5.6×10-5下降到2.3×10-5.此外,隨著基闆溫度的提高,損耗也會有所增加.TiO2薄膜消光繫數評價的閤理性錶明由窄帶濾光片的峰值透射率來反縯薄膜的消光繫數是可行的.
기우착대간섭려광편적봉치투사솔측량가이직접반연출박막적소광계수,종이득도료일충간역이우정학적평개박막미약손모적신방법.천술료학정약흡수박막소광계수적기본원리,병분석료저충평개방법적기본정도.토론료리자속천사TiO2박막적제비삼량대박막소광계수적영향.발현천사속솔화양분압시영향TiO2박막손모적령민인소.재보지기타삼량불변적조건하,천사속솔종0.35 nm/s하강도0.23 nm/s,TiO2박막적소광계수종3.9×10-5하강도2.1×10-5;보조리자원적Ar:O비종1:2변화위1:4,대응적소광계수종5.6×10-5하강도2.3×10-5.차외,수착기판온도적제고,손모야회유소증가.TiO2박막소광계수평개적합이성표명유착대려광편적봉치투사솔래반연박막적소광계수시가행적.
