1064nm RCE探测器光电响应特性分析
1064nm RCE탐측기광전향응특성분석
Performance of 1064nm RCE Photodetectors
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2005年 8期 1605-1609 ,共5页

    彭红玲%章昊%韩勤%杨晓红%杜云%倪海桥%佟存柱%牛智川%郑厚植%吴荣汉

    팽홍령%장호%한근%양효홍%두운%예해교%동존주%우지천%정후식%오영한

    谐振腔增强型%光电探测器%量子阱%量子点 諧振腔增彊型%光電探測器%量子阱%量子點
    해진강증강형%광전탐측기%양자정%양자점
    对1064nm谐振腔增强型(RCE)光电探测器(PD)的光电响应特性进行了分析研究.利用MBE生长技术得到有源区分别为量子阱和量子点的1064nm RCE探测器的外延片,并对制作的探测器进行了各种光电特性测试.结果表明量子阱结构的RCE探测器量子效率峰值达到57%,谱线半宽6～7nm,峰值波长1059nm;而量子点结构的RCE探测器量子效率峰值达到30%,谱线半宽5nm,峰值波长1056nm.通过分析量子效率和吸收系数之间的关系,对两种结构器件的吸收进行了比较,发现虽然量子点探测器的吸收小,但通过合理设计共振腔等方法也可以达到较高的量子效率.两种结构的器件都有很好的I-V特性.
    대1064nm해진강증강형(RCE)광전탐측기(PD)적광전향응특성진행료분석연구.이용MBE생장기술득도유원구분별위양자정화양자점적1064nm RCE탐측기적외연편,병대제작적탐측기진행료각충광전특성측시.결과표명양자정결구적RCE탐측기양자효솔봉치체도57%,보선반관6～7nm,봉치파장1059nm;이양자점결구적RCE탐측기양자효솔봉치체도30%,보선반관5nm,봉치파장1056nm.통과분석양자효솔화흡수계수지간적관계,대량충결구기건적흡수진행료비교,발현수연양자점탐측기적흡수소,단통과합리설계공진강등방법야가이체도교고적양자효솔.량충결구적기건도유흔호적I-V특성.
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