光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2007年
3期
456-459
,共4页
王申伟%衣立新%苏梦蟾%陈恩光%王永生
王申偉%衣立新%囌夢蟾%陳恩光%王永生
왕신위%의립신%소몽섬%진은광%왕영생
SiOx非晶薄膜%磁控溅射%红外吸收光谱
SiOx非晶薄膜%磁控濺射%紅外吸收光譜
SiOx비정박막%자공천사%홍외흡수광보
利用磁控溅射技术,在单晶Si衬底上生长了SiOx非晶薄膜.傅里叶变换红外吸收光谱(FTIR)显示,SiOx非晶薄膜存在3个吸收谱带.研究发现,随着溅射功率的提高,薄膜中先后形成Si-Oy-Si4-y(0＜y≤4),Si6环以及无桥氧空位中心(NBOHC)缺陷等结构,这几种结构对应的Si-O-Si键的伸缩振动吸收、非对称伸缩振动吸收以及O-Si-O键的振动吸收是导致薄膜的FTIR光谱出现3个吸收谱带的根本原因.
利用磁控濺射技術,在單晶Si襯底上生長瞭SiOx非晶薄膜.傅裏葉變換紅外吸收光譜(FTIR)顯示,SiOx非晶薄膜存在3箇吸收譜帶.研究髮現,隨著濺射功率的提高,薄膜中先後形成Si-Oy-Si4-y(0＜y≤4),Si6環以及無橋氧空位中心(NBOHC)缺陷等結構,這幾種結構對應的Si-O-Si鍵的伸縮振動吸收、非對稱伸縮振動吸收以及O-Si-O鍵的振動吸收是導緻薄膜的FTIR光譜齣現3箇吸收譜帶的根本原因.
이용자공천사기술,재단정Si츤저상생장료SiOx비정박막.부리협변환홍외흡수광보(FTIR)현시,SiOx비정박막존재3개흡수보대.연구발현,수착천사공솔적제고,박막중선후형성Si-Oy-Si4-y(0＜y≤4),Si6배이급무교양공위중심(NBOHC)결함등결구,저궤충결구대응적Si-O-Si건적신축진동흡수、비대칭신축진동흡수이급O-Si-O건적진동흡수시도치박막적FTIR광보출현3개흡수보대적근본원인.
