材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2006年
z1期
17-19
,共3页
透明导电膜%ITO膜%磁控溅射
透明導電膜%ITO膜%磁控濺射
투명도전막%ITO막%자공천사
通过探讨半导体氧化物ITO膜的透光和导电机理,用反应性直流磁控溅射的镀膜工艺,在有机玻璃上低温镀制(ITO)膜,研究ITO膜溅射工艺参数与透光和导电性能的关系,实现了在低温下镀制(ITO)膜的技术,其透光率≥80%以上,表面电阻≤30Ω/□.
通過探討半導體氧化物ITO膜的透光和導電機理,用反應性直流磁控濺射的鍍膜工藝,在有機玻璃上低溫鍍製(ITO)膜,研究ITO膜濺射工藝參數與透光和導電性能的關繫,實現瞭在低溫下鍍製(ITO)膜的技術,其透光率≥80%以上,錶麵電阻≤30Ω/□.
통과탐토반도체양화물ITO막적투광화도전궤리,용반응성직류자공천사적도막공예,재유궤파리상저온도제(ITO)막,연구ITO막천사공예삼수여투광화도전성능적관계,실현료재저온하도제(ITO)막적기술,기투광솔≥80%이상,표면전조≤30Ω/□.
