CAJ | 학술논문

利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的铝锆共掺杂氧化锌(ZAZO)透明导电薄膜.讨论了溅射功率对ZAZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响.实验结果表明,溅射功率对ZAZO薄膜的结构、形貌和电学性能有很大影响,而对其光学性能影响不大.扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究结果表明,ZAZO薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,具有垂直于衬底方向的c轴择优取向.当溅射功率为120 W时,薄膜的电阻率达到最小值5.28×10-4 Ω·cm,其可见光区平均透过率超过94%.
이용직류자공천사법재실온파리츤저상제비출료가견광투과솔고、전조솔저적려고공참잡양화자(ZAZO)투명도전박막.토론료천사공솔대ZAZO박막결구、형모화광전성능적영향.실험결과표명,천사공솔대ZAZO박막적결구、형모화전학성능유흔대영향,이대기광학성능영향불대.소묘전자현미경화X사선연사의연구결과표명,ZAZO박막위륙방섬자광결구적다정박막,구유수직우츤저방향적c축택우취향.당천사공솔위120 W시,박막적전조솔체도최소치5.28×10-4 Ω·cm,기가견광구평균투과솔초과94%.