信息记录材料
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신식기록재료
INFORMATION RECORDING MATERIALS
2010年
4期
60-64
,共5页
张昌印%陈小松%尹玉丽%吴绍彬%杨磊%黄致新
張昌印%陳小鬆%尹玉麗%吳紹彬%楊磊%黃緻新
장창인%진소송%윤옥려%오소빈%양뢰%황치신
Cu3N薄膜%工艺参数%性能
Cu3N薄膜%工藝參數%性能
Cu3N박막%공예삼수%성능
Cu3N薄膜的晶面取向、沉积速率、电学特性等性质除与制备方法有关外,还和制备工艺参数有很大关系.溅射法制备Cu3N薄膜工艺参数主要有,混合气体(N2+Ar)中氮气分压比r、基底温度T(℃)、溅射功率P(W).为了研究Cu3N薄膜的性能与其制备工艺参数之间关系,本文采用反应射频磁控溅射法,在玻璃基底上成功制备了Cu3N薄膜,并研究了工艺参数对其晶面取向、膜厚、电学性能、沉积速率的影响.
Cu3N薄膜的晶麵取嚮、沉積速率、電學特性等性質除與製備方法有關外,還和製備工藝參數有很大關繫.濺射法製備Cu3N薄膜工藝參數主要有,混閤氣體(N2+Ar)中氮氣分壓比r、基底溫度T(℃)、濺射功率P(W).為瞭研究Cu3N薄膜的性能與其製備工藝參數之間關繫,本文採用反應射頻磁控濺射法,在玻璃基底上成功製備瞭Cu3N薄膜,併研究瞭工藝參數對其晶麵取嚮、膜厚、電學性能、沉積速率的影響.
Cu3N박막적정면취향、침적속솔、전학특성등성질제여제비방법유관외,환화제비공예삼수유흔대관계.천사법제비Cu3N박막공예삼수주요유,혼합기체(N2+Ar)중담기분압비r、기저온도T(℃)、천사공솔P(W).위료연구Cu3N박막적성능여기제비공예삼수지간관계,본문채용반응사빈자공천사법,재파리기저상성공제비료Cu3N박막,병연구료공예삼수대기정면취향、막후、전학성능、침적속솔적영향.
