高技术通讯
高技術通訊
고기술통신
HIGH TECHNOLOGY LETTERS
2005年
12期
24-29
,共6页
微电子机械系统(MEMS)%虚拟运行%运动规律%自动求解%编译
微電子機械繫統(MEMS)%虛擬運行%運動規律%自動求解%編譯
미전자궤계계통(MEMS)%허의운행%운동규률%자동구해%편역
针对虚拟运行(在器件动态模型的基础上对MEMS器件运动性能进行评测的设计工具,其作用在于建立MEMS设计参数与器件运行之间的直接联系)中运动规律的联立、求解和实时仿真等问题,分析了几种典型MEMS器件的动态模型,提出了运动规律求解器的设计原理和体系结构,其中包括三项关键技术:物理运动规律在部件库系统中的形式化表示,物理问题自动求解的推理算法,以及离线编译的优化技术.最后,设计和实现了运动规律求解器原型系统,并在该系统中测试了微泵的虚拟运行,达到了通过修改阀片设计参数和膜片驱动参数实时观察虚拟运行中状态相应变化的目标,即在微泵的设计参数与其运行之间建立了直接的关联关系.
針對虛擬運行(在器件動態模型的基礎上對MEMS器件運動性能進行評測的設計工具,其作用在于建立MEMS設計參數與器件運行之間的直接聯繫)中運動規律的聯立、求解和實時倣真等問題,分析瞭幾種典型MEMS器件的動態模型,提齣瞭運動規律求解器的設計原理和體繫結構,其中包括三項關鍵技術:物理運動規律在部件庫繫統中的形式化錶示,物理問題自動求解的推理算法,以及離線編譯的優化技術.最後,設計和實現瞭運動規律求解器原型繫統,併在該繫統中測試瞭微泵的虛擬運行,達到瞭通過脩改閥片設計參數和膜片驅動參數實時觀察虛擬運行中狀態相應變化的目標,即在微泵的設計參數與其運行之間建立瞭直接的關聯關繫.
침대허의운행(재기건동태모형적기출상대MEMS기건운동성능진행평측적설계공구,기작용재우건립MEMS설계삼수여기건운행지간적직접련계)중운동규률적련립、구해화실시방진등문제,분석료궤충전형MEMS기건적동태모형,제출료운동규률구해기적설계원리화체계결구,기중포괄삼항관건기술:물리운동규률재부건고계통중적형식화표시,물리문제자동구해적추리산법,이급리선편역적우화기술.최후,설계화실현료운동규률구해기원형계통,병재해계통중측시료미빙적허의운행,체도료통과수개벌편설계삼수화막편구동삼수실시관찰허의운행중상태상응변화적목표,즉재미빙적설계삼수여기운행지간건립료직접적관련관계.
