光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2007年
2期
377-378
,共2页
习锋杰%许晓军%王铁志%姜宗福
習鋒傑%許曉軍%王鐵誌%薑宗福
습봉걸%허효군%왕철지%강종복
自适应光学%波前曲率传感器%相位型散焦光栅%波前测量
自適應光學%波前麯率傳感器%相位型散焦光柵%波前測量
자괄응광학%파전곡솔전감기%상위형산초광책%파전측량
研制了一套相位光栅型波前曲率传感器.实验结果表明,相位型散焦光栅能消除零级衍射光的干扰,正负一级衍射光的衍射效率达到49%.用相差板引进波前畸变,进行了波前测量实验.用格林函数算法进行了波前恢复,并和Veeco检测结果进行了比较.制备的光栅型波前曲率传感器测量结果正确,峰谷值存在10%的误差,均方根值存在2%的误差.
研製瞭一套相位光柵型波前麯率傳感器.實驗結果錶明,相位型散焦光柵能消除零級衍射光的榦擾,正負一級衍射光的衍射效率達到49%.用相差闆引進波前畸變,進行瞭波前測量實驗.用格林函數算法進行瞭波前恢複,併和Veeco檢測結果進行瞭比較.製備的光柵型波前麯率傳感器測量結果正確,峰穀值存在10%的誤差,均方根值存在2%的誤差.
연제료일투상위광책형파전곡솔전감기.실험결과표명,상위형산초광책능소제령급연사광적간우,정부일급연사광적연사효솔체도49%.용상차판인진파전기변,진행료파전측량실험.용격림함수산법진행료파전회복,병화Veeco검측결과진행료비교.제비적광책형파전곡솔전감기측량결과정학,봉곡치존재10%적오차,균방근치존재2%적오차.
