分析仪器
分析儀器
분석의기
ANALYTICAL INSTRUMENTATION
2008年
1期
14-18
,共5页
X射线衍射仪%样品装调%角度误差%转动误差%偏心误差%俯仰误差%校正
X射線衍射儀%樣品裝調%角度誤差%轉動誤差%偏心誤差%俯仰誤差%校正
X사선연사의%양품장조%각도오차%전동오차%편심오차%부앙오차%교정
使用X射线衍射仪分析样品,测试角度误差的大小影响着分析结果的准确性,而样品装调误差会导致测试角度误差.本文系统分析了样品装调对测试角度误差的影响.结论是,转动误差和偏心误差对测量误差影响较大,一般需要校正;俯仰误差对测量结果影响较小,一般不用校正.实验表明,通过校正样品装调后的转动误差和偏心误差,可以将测量角度随机性误差控制在0.006°(2θ)以内,并将周期厚度为17nm左右的[Mo/Si]多层膜的测试周期厚度精确到0.1nm,为极紫外区高精度膜厚控制提供了保证.
使用X射線衍射儀分析樣品,測試角度誤差的大小影響著分析結果的準確性,而樣品裝調誤差會導緻測試角度誤差.本文繫統分析瞭樣品裝調對測試角度誤差的影響.結論是,轉動誤差和偏心誤差對測量誤差影響較大,一般需要校正;俯仰誤差對測量結果影響較小,一般不用校正.實驗錶明,通過校正樣品裝調後的轉動誤差和偏心誤差,可以將測量角度隨機性誤差控製在0.006°(2θ)以內,併將週期厚度為17nm左右的[Mo/Si]多層膜的測試週期厚度精確到0.1nm,為極紫外區高精度膜厚控製提供瞭保證.
사용X사선연사의분석양품,측시각도오차적대소영향착분석결과적준학성,이양품장조오차회도치측시각도오차.본문계통분석료양품장조대측시각도오차적영향.결론시,전동오차화편심오차대측량오차영향교대,일반수요교정;부앙오차대측량결과영향교소,일반불용교정.실험표명,통과교정양품장조후적전동오차화편심오차,가이장측량각도수궤성오차공제재0.006°(2θ)이내,병장주기후도위17nm좌우적[Mo/Si]다층막적측시주기후도정학도0.1nm,위겁자외구고정도막후공제제공료보증.
