压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2008年
3期
337-339
,共3页
李敏睿%杜丕一%袁东升%王问斯
李敏睿%杜丕一%袁東升%王問斯
리민예%두비일%원동승%왕문사
铁电薄膜%PbxSr1-xTiO3(PST)%磁控溅射%同质缓冲层
鐵電薄膜%PbxSr1-xTiO3(PST)%磁控濺射%同質緩遲層
철전박막%PbxSr1-xTiO3(PST)%자공천사%동질완충층
采用射频磁控溅射法制备了以低功率溅射得到的PbxSr1-xTiO3(PST)薄膜为缓冲层(同质缓冲层)的PST双层薄膜.通过X-射线衍射、扫描电镜、阻抗分析仪和铁电分析仪对薄膜相结构、表面形貌、介电损耗和铁电性能进行了测试分析.结果表明,以低功率溅射得到的PST薄膜作为同质缓冲层的双层薄膜可减少薄膜的缺陷,从而有效降低介电损耗.
採用射頻磁控濺射法製備瞭以低功率濺射得到的PbxSr1-xTiO3(PST)薄膜為緩遲層(同質緩遲層)的PST雙層薄膜.通過X-射線衍射、掃描電鏡、阻抗分析儀和鐵電分析儀對薄膜相結構、錶麵形貌、介電損耗和鐵電性能進行瞭測試分析.結果錶明,以低功率濺射得到的PST薄膜作為同質緩遲層的雙層薄膜可減少薄膜的缺陷,從而有效降低介電損耗.
채용사빈자공천사법제비료이저공솔천사득도적PbxSr1-xTiO3(PST)박막위완충층(동질완충층)적PST쌍층박막.통과X-사선연사、소묘전경、조항분석의화철전분석의대박막상결구、표면형모、개전손모화철전성능진행료측시분석.결과표명,이저공솔천사득도적PST박막작위동질완충층적쌍층박막가감소박막적결함,종이유효강저개전손모.
