材料保护
材料保護
재료보호
MATERIALS PROTECTION
2003年
12期
11-13
,共3页
许世红%王金清%刘维民%阎鹏勋
許世紅%王金清%劉維民%閻鵬勛
허세홍%왕금청%류유민%염붕훈
摩擦学%钼薄膜%薄膜硬度%微结构%纳米压入%直流磁控溅射
摩抆學%鉬薄膜%薄膜硬度%微結構%納米壓入%直流磁控濺射
마찰학%목박막%박막경도%미결구%납미압입%직류자공천사
采用直流磁控溅射技术在GCr15轴承钢底材上沉积了钼薄膜.利用XRD,AFM对不同负偏压下沉积的钼薄膜的结构和表面形貌进行了表征;利用纳米压痕仪对薄膜的硬度和膜基结合强度进行了测定;最后利用DF-PM型动静摩擦系数精密测定仪和扫描电镜(SEM)研究了薄膜的硬度、残余模量与负偏压的关系.结果表明:利用直流磁控溅射法制备的钼薄膜的硬度随负偏压的变化存在最大值,另外负偏压还影响薄膜的微结构、粗糙度以及膜基结合力,但负偏压的改变对钼薄膜的摩擦系数影响不大.
採用直流磁控濺射技術在GCr15軸承鋼底材上沉積瞭鉬薄膜.利用XRD,AFM對不同負偏壓下沉積的鉬薄膜的結構和錶麵形貌進行瞭錶徵;利用納米壓痕儀對薄膜的硬度和膜基結閤彊度進行瞭測定;最後利用DF-PM型動靜摩抆繫數精密測定儀和掃描電鏡(SEM)研究瞭薄膜的硬度、殘餘模量與負偏壓的關繫.結果錶明:利用直流磁控濺射法製備的鉬薄膜的硬度隨負偏壓的變化存在最大值,另外負偏壓還影響薄膜的微結構、粗糙度以及膜基結閤力,但負偏壓的改變對鉬薄膜的摩抆繫數影響不大.
채용직류자공천사기술재GCr15축승강저재상침적료목박막.이용XRD,AFM대불동부편압하침적적목박막적결구화표면형모진행료표정;이용납미압흔의대박막적경도화막기결합강도진행료측정;최후이용DF-PM형동정마찰계수정밀측정의화소묘전경(SEM)연구료박막적경도、잔여모량여부편압적관계.결과표명:이용직류자공천사법제비적목박막적경도수부편압적변화존재최대치,령외부편압환영향박막적미결구、조조도이급막기결합력,단부편압적개변대목박막적마찰계수영향불대.
