电子产品可靠性与环境试验
電子產品可靠性與環境試驗
전자산품가고성여배경시험
ELECTRONIC PRODUCT RELIABILITY AND ENVIRONMENTAL TESTING
2004年
5期
16-20
,共5页
曾繁中%简维廷%陈雷刚%施雯%蔡炳初
曾繁中%簡維廷%陳雷剛%施雯%蔡炳初
증번중%간유정%진뢰강%시문%채병초
集成电路%圆片级可靠性%封装可靠性
集成電路%圓片級可靠性%封裝可靠性
집성전로%원편급가고성%봉장가고성
圆片级可靠性测试是从可靠性物理的基础上发展起来的,利用工艺过程统计的控制方法来收集数据,并且通过快速的参数测量来检测出导致产品可靠性退化的原因.这种测试采用的是较高的、但在容许范围之内的测量应力(如温度、电压、电流),将其加到圆片上的测试结构中,然后测量由这种应力所产生的品质退化.圆片级可靠性测试系统主要分4个阶段:圆片级可靠性设计与发展(WLLRD:WLR Design & Development );圆片级可靠性评估及验证(WLRA:WLR Assessment );圆片级可靠性基准建立(WLRB:WLR Baseline );圆片级可靠性控制(WLRC: WLR Clntrol ).WLR系统已经成功地运用于从0.35μm到0.13μm逻辑电路及存储器的生产中.
圓片級可靠性測試是從可靠性物理的基礎上髮展起來的,利用工藝過程統計的控製方法來收集數據,併且通過快速的參數測量來檢測齣導緻產品可靠性退化的原因.這種測試採用的是較高的、但在容許範圍之內的測量應力(如溫度、電壓、電流),將其加到圓片上的測試結構中,然後測量由這種應力所產生的品質退化.圓片級可靠性測試繫統主要分4箇階段:圓片級可靠性設計與髮展(WLLRD:WLR Design & Development );圓片級可靠性評估及驗證(WLRA:WLR Assessment );圓片級可靠性基準建立(WLRB:WLR Baseline );圓片級可靠性控製(WLRC: WLR Clntrol ).WLR繫統已經成功地運用于從0.35μm到0.13μm邏輯電路及存儲器的生產中.
원편급가고성측시시종가고성물리적기출상발전기래적,이용공예과정통계적공제방법래수집수거,병차통과쾌속적삼수측량래검측출도치산품가고성퇴화적원인.저충측시채용적시교고적、단재용허범위지내적측량응력(여온도、전압、전류),장기가도원편상적측시결구중,연후측량유저충응력소산생적품질퇴화.원편급가고성측시계통주요분4개계단:원편급가고성설계여발전(WLLRD:WLR Design & Development );원편급가고성평고급험증(WLRA:WLR Assessment );원편급가고성기준건립(WLRB:WLR Baseline );원편급가고성공제(WLRC: WLR Clntrol ).WLR계통이경성공지운용우종0.35μm도0.13μm라집전로급존저기적생산중.
