电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2007年
2期
426-429
,共4页
蔡玉丽%丁桂甫%戴旭涵%顾东华%姚锦元%张丹
蔡玉麗%丁桂甫%戴旭涵%顧東華%姚錦元%張丹
채옥려%정계보%대욱함%고동화%요금원%장단
光纤元件%光纤连接器%MEMS%集成制造%自适应盖板
光纖元件%光纖連接器%MEMS%集成製造%自適應蓋闆
광섬원건%광섬련접기%MEMS%집성제조%자괄응개판
一种基于MEMS技术的新型光纤连接器,在硅V型槽上方集成制造电沉积镍薄膜金属盖板,其两端喇叭口形导引通道方便光纤插拔,中间平直部分的夹持通道实现光纤的定位和精确自对准.该器件体积小巧、可集成制造并且重复性好,测试的插入损耗值小于0.3dB.对此自适应式可集成制造光纤连接器的结构设计和制作工艺作了着重介绍.
一種基于MEMS技術的新型光纖連接器,在硅V型槽上方集成製造電沉積鎳薄膜金屬蓋闆,其兩耑喇叭口形導引通道方便光纖插拔,中間平直部分的夾持通道實現光纖的定位和精確自對準.該器件體積小巧、可集成製造併且重複性好,測試的插入損耗值小于0.3dB.對此自適應式可集成製造光纖連接器的結構設計和製作工藝作瞭著重介紹.
일충기우MEMS기술적신형광섬련접기,재규V형조상방집성제조전침적얼박막금속개판,기량단나팔구형도인통도방편광섬삽발,중간평직부분적협지통도실현광섬적정위화정학자대준.해기건체적소교、가집성제조병차중복성호,측시적삽입손모치소우0.3dB.대차자괄응식가집성제조광섬련접기적결구설계화제작공예작료착중개소.
