物理学报
物理學報
물이학보
2008年
1期
425-429
,共5页
扩散理论%薄膜生长%交换作用%RLA
擴散理論%薄膜生長%交換作用%RLA
확산이론%박막생장%교환작용%RLA
以扩散理论为基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,引入交换比的概念,对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行Kinetic Monte Carlo模拟.模拟发现,活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,跨层扩散主要是单个原子的扩散,层间扩散的原子数目随着温度的升高或沉积厚度的增加而增多.RLA模型中的"交换作用"只是若干个"基本微观过程"的组合,大多数交换不是位置的"完全交换",交换比也并非恒为1.
以擴散理論為基礎,建立以"基本微觀過程"為覈心的新模型,引入交換比的概唸,對存在錶麵活化劑時薄膜生長的微觀過程進行Kinetic Monte Carlo模擬.模擬髮現,活化層原子和沉積原子都會髮生跨層間的擴散,跨層擴散主要是單箇原子的擴散,層間擴散的原子數目隨著溫度的升高或沉積厚度的增加而增多.RLA模型中的"交換作用"隻是若榦箇"基本微觀過程"的組閤,大多數交換不是位置的"完全交換",交換比也併非恆為1.
이확산이론위기출,건립이"기본미관과정"위핵심적신모형,인입교환비적개념,대존재표면활화제시박막생장적미관과정진행Kinetic Monte Carlo모의.모의발현,활화층원자화침적원자도회발생과층간적확산,과층확산주요시단개원자적확산,층간확산적원자수목수착온도적승고혹침적후도적증가이증다.RLA모형중적"교환작용"지시약간개"기본미관과정"적조합,대다수교환불시위치적"완전교환",교환비야병비항위1.
