光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
4期
682-688
,共7页
梁晋涛%刘诗斌%刘君华%朱长纯
樑晉濤%劉詩斌%劉君華%硃長純
량진도%류시빈%류군화%주장순
红外探测器%微悬臂梁%微机械技术%碳纳米管
紅外探測器%微懸臂樑%微機械技術%碳納米管
홍외탐측기%미현비량%미궤계기술%탄납미관
研究了一种压阻复合层微机械悬臂梁红外探测器,建立了其热挠曲理论模型.为提高探测器的红外吸收特性,应用了一种新型红外吸收层材料一碳纳米管,利用IC工艺和微机械加工技术设计制作了一种硅/铝/碳纳米管三层微机械悬臂梁红外探测器.该探测器基于硅和铝两种材料热膨胀系数的差异,存在双物质效应,不同温度下梁的挠度不同,其形变可通过梁根部的压敏电桥检测.实验探索出了在微机械悬臂梁上涂覆碳纳米管吸热层的工艺方法.实验研究了具有碳纳米管薄膜吸热层的三层微机械悬臂梁红外热探测器对红外辐射的响应规律,结果表明,涂覆碳纳米管吸热层使响应灵敏度提高近1倍.此种探测器样管的制作研究为开发新型的红外热探测器提供了新的可能.
研究瞭一種壓阻複閤層微機械懸臂樑紅外探測器,建立瞭其熱撓麯理論模型.為提高探測器的紅外吸收特性,應用瞭一種新型紅外吸收層材料一碳納米管,利用IC工藝和微機械加工技術設計製作瞭一種硅/鋁/碳納米管三層微機械懸臂樑紅外探測器.該探測器基于硅和鋁兩種材料熱膨脹繫數的差異,存在雙物質效應,不同溫度下樑的撓度不同,其形變可通過樑根部的壓敏電橋檢測.實驗探索齣瞭在微機械懸臂樑上塗覆碳納米管吸熱層的工藝方法.實驗研究瞭具有碳納米管薄膜吸熱層的三層微機械懸臂樑紅外熱探測器對紅外輻射的響應規律,結果錶明,塗覆碳納米管吸熱層使響應靈敏度提高近1倍.此種探測器樣管的製作研究為開髮新型的紅外熱探測器提供瞭新的可能.
연구료일충압조복합층미궤계현비량홍외탐측기,건립료기열뇨곡이론모형.위제고탐측기적홍외흡수특성,응용료일충신형홍외흡수층재료일탄납미관,이용IC공예화미궤계가공기술설계제작료일충규/려/탄납미관삼층미궤계현비량홍외탐측기.해탐측기기우규화려량충재료열팽창계수적차이,존재쌍물질효응,불동온도하량적뇨도불동,기형변가통과량근부적압민전교검측.실험탐색출료재미궤계현비량상도복탄납미관흡열층적공예방법.실험연구료구유탄납미관박막흡열층적삼층미궤계현비량홍외열탐측기대홍외복사적향응규률,결과표명,도복탄납미관흡열층사향응령민도제고근1배.차충탐측기양관적제작연구위개발신형적홍외열탐측기제공료신적가능.
