真空
真空
진공
VACUUM
2008年
4期
70-74
,共5页
马元远%王德苗%金浩%郑建潮
馬元遠%王德苗%金浩%鄭建潮
마원원%왕덕묘%금호%정건조
铁氧体%磁控溅射%金属化
鐵氧體%磁控濺射%金屬化
철양체%자공천사%금속화
溅射金属化技术不仅环保,而且工艺过程简单,金属化质量高,将成为未来金属化工艺的主要发展方向.本文采用真空溅射技术在镍锌铁氧体表面制备了Cr(150 nm)/Ni-Cu(460 am)/Ag(200 nm)结构的金属化复合薄膜,从理论和实验上研究分析了溅射工艺参数对于薄膜性能的影响.研究表明:当溅射功率密度为20 W·cm-2,靶片间距8 cm,溅射气压0.5 Pa时,结合性能和高温可焊接性能最好,可达6.19 Mpa和100%,成膜速率也比较理想.
濺射金屬化技術不僅環保,而且工藝過程簡單,金屬化質量高,將成為未來金屬化工藝的主要髮展方嚮.本文採用真空濺射技術在鎳鋅鐵氧體錶麵製備瞭Cr(150 nm)/Ni-Cu(460 am)/Ag(200 nm)結構的金屬化複閤薄膜,從理論和實驗上研究分析瞭濺射工藝參數對于薄膜性能的影響.研究錶明:噹濺射功率密度為20 W·cm-2,靶片間距8 cm,濺射氣壓0.5 Pa時,結閤性能和高溫可銲接性能最好,可達6.19 Mpa和100%,成膜速率也比較理想.
천사금속화기술불부배보,이차공예과정간단,금속화질량고,장성위미래금속화공예적주요발전방향.본문채용진공천사기술재얼자철양체표면제비료Cr(150 nm)/Ni-Cu(460 am)/Ag(200 nm)결구적금속화복합박막,종이론화실험상연구분석료천사공예삼수대우박막성능적영향.연구표명:당천사공솔밀도위20 W·cm-2,파편간거8 cm,천사기압0.5 Pa시,결합성능화고온가한접성능최호,가체6.19 Mpa화100%,성막속솔야비교이상.
