光散射学报
光散射學報
광산사학보
CHINESE JOURNAL OF LIGHT SCATTERING
2009年
2期
152-156
,共5页
杜康%徐伟%贺中信%吴智量%彭军
杜康%徐偉%賀中信%吳智量%彭軍
두강%서위%하중신%오지량%팽군
色度学%金刚石膜%饱和纯度%色度纯度
色度學%金剛石膜%飽和純度%色度純度
색도학%금강석막%포화순도%색도순도
利用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积装置,以氢气和甲烷为反应气体,沉积出八个金刚石膜样品.研究了氢气浓度对所沉积金刚石膜色度的影响.结果表明,饱和纯度和色纯度随着H2浓度的增大而升高;当H2浓度达到94.137%时,饱和纯度和色度纯度达到最大,分别为8.5%和9.5%;之后随着H2浓度的进一步升高饱和纯度和色纯度开始下降.
利用自行設計的直接耦閤石英管微波等離子體化學氣相沉積裝置,以氫氣和甲烷為反應氣體,沉積齣八箇金剛石膜樣品.研究瞭氫氣濃度對所沉積金剛石膜色度的影響.結果錶明,飽和純度和色純度隨著H2濃度的增大而升高;噹H2濃度達到94.137%時,飽和純度和色度純度達到最大,分彆為8.5%和9.5%;之後隨著H2濃度的進一步升高飽和純度和色純度開始下降.
이용자행설계적직접우합석영관미파등리자체화학기상침적장치,이경기화갑완위반응기체,침적출팔개금강석막양품.연구료경기농도대소침적금강석막색도적영향.결과표명,포화순도화색순도수착H2농도적증대이승고;당H2농도체도94.137%시,포화순도화색도순도체도최대,분별위8.5%화9.5%;지후수착H2농도적진일보승고포화순도화색순도개시하강.
