真空
真空
진공
VACUUM
2010年
2期
83-85
,共3页
程焰林%王远%金大志%向伟%程亮
程燄林%王遠%金大誌%嚮偉%程亮
정염림%왕원%금대지%향위%정량
真空弧离子源%四极质谱仪%质谱图
真空弧離子源%四極質譜儀%質譜圖
진공호리자원%사겁질보의%질보도
本文介绍了脉冲真空弧离子源的特点,建立了脉冲真空弧离子源工作瞬间放气成分的质谱分析系统.应用四极质谱仪记录了真空系统中离子源工作前后的谱图,并通过数据软件的二次处理初步取得了脉冲真空弧离子源放电空间的增量成分分析;开展了不同绝缘介质对脉冲真空弧离子源工作瞬间所产生气体成分的对比研究.
本文介紹瞭脈遲真空弧離子源的特點,建立瞭脈遲真空弧離子源工作瞬間放氣成分的質譜分析繫統.應用四極質譜儀記錄瞭真空繫統中離子源工作前後的譜圖,併通過數據軟件的二次處理初步取得瞭脈遲真空弧離子源放電空間的增量成分分析;開展瞭不同絕緣介質對脈遲真空弧離子源工作瞬間所產生氣體成分的對比研究.
본문개소료맥충진공호리자원적특점,건립료맥충진공호리자원공작순간방기성분적질보분석계통.응용사겁질보의기록료진공계통중리자원공작전후적보도,병통과수거연건적이차처리초보취득료맥충진공호리자원방전공간적증량성분분석;개전료불동절연개질대맥충진공호리자원공작순간소산생기체성분적대비연구.
