功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2011年
3期
248-252
,共5页
尚杰%张辉%唐艳艳%曹明刚%张鹏翔
尚傑%張輝%唐豔豔%曹明剛%張鵬翔
상걸%장휘%당염염%조명강%장붕상
无铅铁电薄膜%脉冲激光能量计%激光感生热电电压%脉冲激光沉积
無鉛鐵電薄膜%脈遲激光能量計%激光感生熱電電壓%脈遲激光沉積
무연철전박막%맥충격광능량계%격광감생열전전압%맥충격광침적
采用脉冲激光沉积(PLD)技术,分别在LaAlO3(LAO)、(La,Sr)(Al,Ta)O3(LAST)及SrTiO3(STO)三种不同的单晶衬底上制备了一系列无铅(Na1-χKχ)0.5Bi0.5TiO3(x=0.00,0.08,0.19,0.30,NKBT)铁电薄膜材料.利用X射线衍射(XRD)仪对薄膜结构进行了分析,结果表明在单晶平衬底上生长的薄膜都是单取向生长的外延膜,其中摇摆曲线的半高宽(FWHM)显示在(La,Sr)(Al,Ta)O3单晶衬底上生长的薄膜结晶质量最好.另外,在20°倾斜的(La,Sr)(Al,Ta)O3单晶衬底上生长的(Na1-χKχ)0.5Bi0.5TiO3铁电薄膜中还首次观察到了激光感生热电电压(LITV)信号.发现在能量为0.48mJ/pulse的紫外脉冲激光辐照下,其最大激光感生热电电压为31mV,完全满足了制作脉冲激光能量计探测元件的要求,有望开发出可集成的新型脉冲激光能量计.
採用脈遲激光沉積(PLD)技術,分彆在LaAlO3(LAO)、(La,Sr)(Al,Ta)O3(LAST)及SrTiO3(STO)三種不同的單晶襯底上製備瞭一繫列無鉛(Na1-χKχ)0.5Bi0.5TiO3(x=0.00,0.08,0.19,0.30,NKBT)鐵電薄膜材料.利用X射線衍射(XRD)儀對薄膜結構進行瞭分析,結果錶明在單晶平襯底上生長的薄膜都是單取嚮生長的外延膜,其中搖襬麯線的半高寬(FWHM)顯示在(La,Sr)(Al,Ta)O3單晶襯底上生長的薄膜結晶質量最好.另外,在20°傾斜的(La,Sr)(Al,Ta)O3單晶襯底上生長的(Na1-χKχ)0.5Bi0.5TiO3鐵電薄膜中還首次觀察到瞭激光感生熱電電壓(LITV)信號.髮現在能量為0.48mJ/pulse的紫外脈遲激光輻照下,其最大激光感生熱電電壓為31mV,完全滿足瞭製作脈遲激光能量計探測元件的要求,有望開髮齣可集成的新型脈遲激光能量計.
채용맥충격광침적(PLD)기술,분별재LaAlO3(LAO)、(La,Sr)(Al,Ta)O3(LAST)급SrTiO3(STO)삼충불동적단정츤저상제비료일계렬무연(Na1-χKχ)0.5Bi0.5TiO3(x=0.00,0.08,0.19,0.30,NKBT)철전박막재료.이용X사선연사(XRD)의대박막결구진행료분석,결과표명재단정평츤저상생장적박막도시단취향생장적외연막,기중요파곡선적반고관(FWHM)현시재(La,Sr)(Al,Ta)O3단정츤저상생장적박막결정질량최호.령외,재20°경사적(La,Sr)(Al,Ta)O3단정츤저상생장적(Na1-χKχ)0.5Bi0.5TiO3철전박막중환수차관찰도료격광감생열전전압(LITV)신호.발현재능량위0.48mJ/pulse적자외맥충격광복조하,기최대격광감생열전전압위31mV,완전만족료제작맥충격광능량계탐측원건적요구,유망개발출가집성적신형맥충격광능량계.
