稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2011年
5期
715-718
,共4页
黄美东%张琳琳%王丽格%佟莉娜%李晓娜%董闯
黃美東%張琳琳%王麗格%佟莉娜%李曉娜%董闖
황미동%장림림%왕려격%동리나%리효나%동틈
氮化铝薄膜%基底温度%反应磁控溅射法
氮化鋁薄膜%基底溫度%反應磁控濺射法
담화려박막%기저온도%반응자공천사법
采用反应磁控溅射法结合加热控温电源,在光学玻璃基底上制备氮化铝(AlN)薄膜,通过X射线衍射(XRD)技术对薄膜样品物相结构进行分析,利用纳米压痕仪测试薄膜样品的硬度及弹性模量,用椭圆偏振仪及光栅光谱仪测试了薄膜样品的光学性能,分析和研究了基底温度对AlN薄膜的结构及性能的影响.结果表明,用此方法获得的AlN薄膜呈晶态,属于六方晶系,温度对AlN(100)面衍射峰强度影响不大,但对(110)面衍射峰的影响较大,因而温度对AlN的择优取向有一定影响.AlN(100)峰半高宽随温度升高而减小,表明晶粒尺寸随温度升高有变大趋势.随沉积温度升高,薄膜硬度从150℃的8 GPa增加到350℃的10 GPa左右,随基底温度升高,薄膜的硬度增加.弹性模量随温度的变化趋势与硬度的基本一致.在可见光区域AlN薄膜透过率超过90％,基本属于透明膜.基底温度对薄膜折射率也有较明显影响,折射率大致随温度升高而增大,但由椭偏测试及透射谱线分析得到的厚度结果表明,随温度升高,AlN薄膜的沉积速率下降.
採用反應磁控濺射法結閤加熱控溫電源,在光學玻璃基底上製備氮化鋁(AlN)薄膜,通過X射線衍射(XRD)技術對薄膜樣品物相結構進行分析,利用納米壓痕儀測試薄膜樣品的硬度及彈性模量,用橢圓偏振儀及光柵光譜儀測試瞭薄膜樣品的光學性能,分析和研究瞭基底溫度對AlN薄膜的結構及性能的影響.結果錶明,用此方法穫得的AlN薄膜呈晶態,屬于六方晶繫,溫度對AlN(100)麵衍射峰彊度影響不大,但對(110)麵衍射峰的影響較大,因而溫度對AlN的擇優取嚮有一定影響.AlN(100)峰半高寬隨溫度升高而減小,錶明晶粒呎吋隨溫度升高有變大趨勢.隨沉積溫度升高,薄膜硬度從150℃的8 GPa增加到350℃的10 GPa左右,隨基底溫度升高,薄膜的硬度增加.彈性模量隨溫度的變化趨勢與硬度的基本一緻.在可見光區域AlN薄膜透過率超過90％,基本屬于透明膜.基底溫度對薄膜摺射率也有較明顯影響,摺射率大緻隨溫度升高而增大,但由橢偏測試及透射譜線分析得到的厚度結果錶明,隨溫度升高,AlN薄膜的沉積速率下降.
채용반응자공천사법결합가열공온전원,재광학파리기저상제비담화려(AlN)박막,통과X사선연사(XRD)기술대박막양품물상결구진행분석,이용납미압흔의측시박막양품적경도급탄성모량,용타원편진의급광책광보의측시료박막양품적광학성능,분석화연구료기저온도대AlN박막적결구급성능적영향.결과표명,용차방법획득적AlN박막정정태,속우륙방정계,온도대AlN(100)면연사봉강도영향불대,단대(110)면연사봉적영향교대,인이온도대AlN적택우취향유일정영향.AlN(100)봉반고관수온도승고이감소,표명정립척촌수온도승고유변대추세.수침적온도승고,박막경도종150℃적8 GPa증가도350℃적10 GPa좌우,수기저온도승고,박막적경도증가.탄성모량수온도적변화추세여경도적기본일치.재가견광구역AlN박막투과솔초과90％,기본속우투명막.기저온도대박막절사솔야유교명현영향,절사솔대치수온도승고이증대,단유타편측시급투사보선분석득도적후도결과표명,수온도승고,AlN박막적침적속솔하강.
