表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2003年
3期
10-12
,共3页
邵楠%梅芳华%董云杉%李戈扬
邵楠%梅芳華%董雲杉%李戈颺
소남%매방화%동운삼%리과양
TiC薄膜%反应磁控溅射%微结构%力学性能
TiC薄膜%反應磁控濺射%微結構%力學性能
TiC박막%반응자공천사%미결구%역학성능
采用反应磁控溅射法在不同的甲烷分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微结构,用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量,并利用AFM观察了薄膜的生长形貌和压痕形貌,研究了甲烷分压对薄膜相组成、微结构和力学性能的影响.结果表明,甲烷分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响:低的甲烷分压下,制备的薄膜样品中有钛相的存在,薄膜的硬度和弹性模量较低;甲烷分压提高0.02～0.04Pa左右,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC,并获得最高的硬度(30.9GPa)和弹性模量(343GPa);进一步提高甲烷分压,薄膜呈现非晶态,其硬度和弹性模量亦随之降低.
採用反應磁控濺射法在不同的甲烷分壓下製備瞭一繫列的TiC薄膜,利用XRD和TEM錶徵瞭薄膜的相組成和微結構,用力學探針測量瞭薄膜的硬度和彈性模量,併利用AFM觀察瞭薄膜的生長形貌和壓痕形貌,研究瞭甲烷分壓對薄膜相組成、微結構和力學性能的影響.結果錶明,甲烷分壓對薄膜的相組成、微結構和力學性能均有明顯的影響:低的甲烷分壓下,製備的薄膜樣品中有鈦相的存在,薄膜的硬度和彈性模量較低;甲烷分壓提高0.02～0.04Pa左右,薄膜內形成晶粒細小的單相TiC,併穫得最高的硬度(30.9GPa)和彈性模量(343GPa);進一步提高甲烷分壓,薄膜呈現非晶態,其硬度和彈性模量亦隨之降低.
채용반응자공천사법재불동적갑완분압하제비료일계렬적TiC박막,이용XRD화TEM표정료박막적상조성화미결구,용역학탐침측량료박막적경도화탄성모량,병이용AFM관찰료박막적생장형모화압흔형모,연구료갑완분압대박막상조성、미결구화역학성능적영향.결과표명,갑완분압대박막적상조성、미결구화역학성능균유명현적영향:저적갑완분압하,제비적박막양품중유태상적존재,박막적경도화탄성모량교저;갑완분압제고0.02～0.04Pa좌우,박막내형성정립세소적단상TiC,병획득최고적경도(30.9GPa)화탄성모량(343GPa);진일보제고갑완분압,박막정현비정태,기경도화탄성모량역수지강저.
