双层金属布线中介质平坦化技术
쌍층금속포선중개질평탄화기술
The Technology of Agent Planation in Several Layers of Metal Process
  • 万方数据
    微处理机 미처리궤
    MICROPROCESSORS
    2004年 2期 8-9,11 ,共3页

    赵晓辉%李宏%孙向然

    조효휘%리굉%손향연

    平坦化%腐蚀%淀积 平坦化%腐蝕%澱積
    평탄화%부식%정적
    本文主要叙述了双层金属布线中介质平坦化的工艺及原理.
    본문주요서술료쌍층금속포선중개질평탄화적공예급원리.
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