半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
1期
117-121
,共5页
吴旭明%王小东%何国荣%王青%曹玉莲%谭满清
吳旭明%王小東%何國榮%王青%曹玉蓮%譚滿清
오욱명%왕소동%하국영%왕청%조옥련%담만청
微光机电系统%调谐%滤波器
微光機電繫統%調諧%濾波器
미광궤전계통%조해%려파기
提出了一种微光机电系统(MOEMS)可调谐滤波器结构,该结构采用GaAs/AlGaAs作为下分布布拉格反射镜(DBR),GaAs和SiO2/Si介质膜作为上DBR,空气作为腔.按照波分复用系统的性能要求对MOEMS可调谐滤波器各项参数,如带宽、峰值透射率、挠度和调谐速度等进行了分析和设计.研究了挠度和调谐速度与梁厚度、宽度、长度等参数的关系.结果表明挠度与长度成正方向变化,同梁厚度、宽度成反方向变化,而调谐速度与各参数的关系恰好相反.
提齣瞭一種微光機電繫統(MOEMS)可調諧濾波器結構,該結構採用GaAs/AlGaAs作為下分佈佈拉格反射鏡(DBR),GaAs和SiO2/Si介質膜作為上DBR,空氣作為腔.按照波分複用繫統的性能要求對MOEMS可調諧濾波器各項參數,如帶寬、峰值透射率、撓度和調諧速度等進行瞭分析和設計.研究瞭撓度和調諧速度與樑厚度、寬度、長度等參數的關繫.結果錶明撓度與長度成正方嚮變化,同樑厚度、寬度成反方嚮變化,而調諧速度與各參數的關繫恰好相反.
제출료일충미광궤전계통(MOEMS)가조해려파기결구,해결구채용GaAs/AlGaAs작위하분포포랍격반사경(DBR),GaAs화SiO2/Si개질막작위상DBR,공기작위강.안조파분복용계통적성능요구대MOEMS가조해려파기각항삼수,여대관、봉치투사솔、뇨도화조해속도등진행료분석화설계.연구료뇨도화조해속도여량후도、관도、장도등삼수적관계.결과표명뇨도여장도성정방향변화,동량후도、관도성반방향변화,이조해속도여각삼수적관계흡호상반.
