CAJ | 학술논문

微谐振器是微机电系统中应用最广泛的器件之一,由于加工工艺和环境潮湿等原因,在微间隙结构中常常会有液体存在,从而产生液体粘性阻力,对可动部件的运动、微器件性能的发挥产生影响.通过液体粘性阻力的分析,建立了上平板做简谐振动的微间隙液体粘性阻力模型,进行了理论计算及仿真分析.结果表明:液体粘性阻力随着平板振动的频率、最大振动速度、流体密度、流体动力粘度以及平板面积的增大而增大,而仿真分析得出的边界层厚度和流体对平板的剪切应力与理论值基本符合.
미해진기시미궤전계통중응용최엄범적기건지일,유우가공공예화배경조습등원인,재미간극결구중상상회유액체존재,종이산생액체점성조력,대가동부건적운동、미기건성능적발휘산생영향.통과액체점성조력적분석,건립료상평판주간해진동적미간극액체점성조력모형,진행료이론계산급방진분석.결과표명:액체점성조력수착평판진동적빈솔、최대진동속도、류체밀도、류체동력점도이급평판면적적증대이증대,이방진분석득출적변계층후도화류체대평판적전절응력여이론치기본부합.