哈尔滨商业大学学报（自然科学版）
哈爾濱商業大學學報（自然科學版）
합이빈상업대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF COMMERCE(NATURAL SCIENCES EDITION)
2010年
3期
360-362,371
,共4页
施云波%胡东升%赵文杰%冯侨华%王立权
施雲波%鬍東升%趙文傑%馮僑華%王立權
시운파%호동승%조문걸%풍교화%왕립권
氧化铟%纳米氧化物%氯气传感器
氧化銦%納米氧化物%氯氣傳感器
양화인%납미양화물%록기전감기
以In(NO3)3和Cd(NO3)2为原料,采用Sol-Gel法合成N型CdIn2O4半导体氧化物纳米材料,通过500～800 ℃退火处理得到4种温度参数的纳米氧化物材料粉体,按照陶瓷半导体气体传感器工艺制成厚膜气敏元件.利用SEM对材料进行形貌表征,和XRD对材料的晶体结构进行分析,材料粒径尺寸在50 nm左右.测试结果表明,600 ℃退火烧结的纳米材料性能良好,元件在加热电压为3 V时性能稳定,加热功耗约为200 mW;在50×10-6时灵敏度为32倍,响应恢复时间分别为90 s和180 s,最低可检测到1×106.
以In(NO3)3和Cd(NO3)2為原料,採用Sol-Gel法閤成N型CdIn2O4半導體氧化物納米材料,通過500～800 ℃退火處理得到4種溫度參數的納米氧化物材料粉體,按照陶瓷半導體氣體傳感器工藝製成厚膜氣敏元件.利用SEM對材料進行形貌錶徵,和XRD對材料的晶體結構進行分析,材料粒徑呎吋在50 nm左右.測試結果錶明,600 ℃退火燒結的納米材料性能良好,元件在加熱電壓為3 V時性能穩定,加熱功耗約為200 mW;在50×10-6時靈敏度為32倍,響應恢複時間分彆為90 s和180 s,最低可檢測到1×106.
이In(NO3)3화Cd(NO3)2위원료,채용Sol-Gel법합성N형CdIn2O4반도체양화물납미재료,통과500～800 ℃퇴화처리득도4충온도삼수적납미양화물재료분체,안조도자반도체기체전감기공예제성후막기민원건.이용SEM대재료진행형모표정,화XRD대재료적정체결구진행분석,재료립경척촌재50 nm좌우.측시결과표명,600 ℃퇴화소결적납미재료성능량호,원건재가열전압위3 V시성능은정,가열공모약위200 mW;재50×10-6시령민도위32배,향응회복시간분별위90 s화180 s,최저가검측도1×106.
