中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2011年
2期
41-45
,共5页
陈锋光%孙丽丽%成浩%柯培玲%汪爱英
陳鋒光%孫麗麗%成浩%柯培玲%汪愛英
진봉광%손려려%성호%가배령%왕애영
正交分析%TiAlN%阴极电弧离子镀%沉积速率%表面粗糙度
正交分析%TiAlN%陰極電弧離子鍍%沉積速率%錶麵粗糙度
정교분석%TiAlN%음겁전호리자도%침적속솔%표면조조도
为深入理解不同工艺参数对阴极电弧制备TiAlN薄膜性质的影响重要性,文中设计了L9(34)正交试验表,研究了基体负偏压、N2流量、阴极弧流对TiAlN沉积速率、表面粗糙度的影响,给出了工艺参数优化组合.结果表明:负偏压对TiAlN薄膜的沉积速率影响最大,其次是N2流量、弧流;对表面粗糙度的影响次序则为N2流量、弧流、负偏压.薄膜沉积速率随N2流量的升高而增大,随负偏压增加先增加后降低,随弧流的增大变化不明显.薄膜表面粗糙度随N2流量的升高逐渐减小,随负偏压的增加而增加,随弧流的增大而增大.
為深入理解不同工藝參數對陰極電弧製備TiAlN薄膜性質的影響重要性,文中設計瞭L9(34)正交試驗錶,研究瞭基體負偏壓、N2流量、陰極弧流對TiAlN沉積速率、錶麵粗糙度的影響,給齣瞭工藝參數優化組閤.結果錶明:負偏壓對TiAlN薄膜的沉積速率影響最大,其次是N2流量、弧流;對錶麵粗糙度的影響次序則為N2流量、弧流、負偏壓.薄膜沉積速率隨N2流量的升高而增大,隨負偏壓增加先增加後降低,隨弧流的增大變化不明顯.薄膜錶麵粗糙度隨N2流量的升高逐漸減小,隨負偏壓的增加而增加,隨弧流的增大而增大.
위심입리해불동공예삼수대음겁전호제비TiAlN박막성질적영향중요성,문중설계료L9(34)정교시험표,연구료기체부편압、N2류량、음겁호류대TiAlN침적속솔、표면조조도적영향,급출료공예삼수우화조합.결과표명:부편압대TiAlN박막적침적속솔영향최대,기차시N2류량、호류;대표면조조도적영향차서칙위N2류량、호류、부편압.박막침적속솔수N2류량적승고이증대,수부편압증가선증가후강저,수호류적증대변화불명현.박막표면조조도수N2류량적승고축점감소,수부편압적증가이증가,수호류적증대이증대.
