机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2012年
1期
103-105
,共3页
微压力传感器%压敏电阻%弹性膜片%仿真
微壓力傳感器%壓敏電阻%彈性膜片%倣真
미압력전감기%압민전조%탄성막편%방진
研究了一种量程为20kPa的压阻式微压力传感器,同时采用ANSYS仿真得出影响传感器性能的一些规律.应用小挠度理论设计计算了压阻式硅传感器方形弹性膜片结构,并对圆形膜片与方形膜片进行了比较,同时设计了硅芯片以及压敏电阻的尺寸和阻值.通过模型分析和对方型硅膜片的模拟计算,确定了压敏电阻最佳放置位置,来提高灵敏度；并在各个不同的压力下仿真出应力分布图、得出输入-输出关系图及应力峰值.研究为压阻式微压力传感器的结构以及优化、稳健设计提供了一定参考.
研究瞭一種量程為20kPa的壓阻式微壓力傳感器,同時採用ANSYS倣真得齣影響傳感器性能的一些規律.應用小撓度理論設計計算瞭壓阻式硅傳感器方形彈性膜片結構,併對圓形膜片與方形膜片進行瞭比較,同時設計瞭硅芯片以及壓敏電阻的呎吋和阻值.通過模型分析和對方型硅膜片的模擬計算,確定瞭壓敏電阻最佳放置位置,來提高靈敏度；併在各箇不同的壓力下倣真齣應力分佈圖、得齣輸入-輸齣關繫圖及應力峰值.研究為壓阻式微壓力傳感器的結構以及優化、穩健設計提供瞭一定參攷.
연구료일충량정위20kPa적압조식미압력전감기,동시채용ANSYS방진득출영향전감기성능적일사규률.응용소뇨도이론설계계산료압조식규전감기방형탄성막편결구,병대원형막편여방형막편진행료비교,동시설계료규심편이급압민전조적척촌화조치.통과모형분석화대방형규막편적모의계산,학정료압민전조최가방치위치,래제고령민도；병재각개불동적압력하방진출응력분포도、득출수입-수출관계도급응력봉치.연구위압조식미압력전감기적결구이급우화、은건설계제공료일정삼고.
