现代科学仪器
現代科學儀器
현대과학의기
CHINA RURAL WATER AND HYDROPOWER
2003年
2期
9-12
,共4页
扫描探针显微镜(SPM)%粗糙度%表面形貌%纳米尺寸
掃描探針顯微鏡(SPM)%粗糙度%錶麵形貌%納米呎吋
소묘탐침현미경(SPM)%조조도%표면형모%납미척촌
扫描探针显微镜是近十几年来在表面特征表面形貌观测方面最重大的进展之一,是纳米测量学的基本工具,本文叙述了扫描探针显微镜的工作原理、检测模式及在观察检测纳米级的粗糙度、微小尺寸、表面形貌方面的特点和方法,比较了原子力显微镜、常规的表面轮廓仪、干涉显微镜、扫描电子显微镜在表面特性、表面形貌观测方面的性能,着重介绍了扫描探针显微镜在这方面的应用和存在的问题.
掃描探針顯微鏡是近十幾年來在錶麵特徵錶麵形貌觀測方麵最重大的進展之一,是納米測量學的基本工具,本文敘述瞭掃描探針顯微鏡的工作原理、檢測模式及在觀察檢測納米級的粗糙度、微小呎吋、錶麵形貌方麵的特點和方法,比較瞭原子力顯微鏡、常規的錶麵輪廓儀、榦涉顯微鏡、掃描電子顯微鏡在錶麵特性、錶麵形貌觀測方麵的性能,著重介紹瞭掃描探針顯微鏡在這方麵的應用和存在的問題.
소묘탐침현미경시근십궤년래재표면특정표면형모관측방면최중대적진전지일,시납미측량학적기본공구,본문서술료소묘탐침현미경적공작원리、검측모식급재관찰검측납미급적조조도、미소척촌、표면형모방면적특점화방법,비교료원자력현미경、상규적표면륜곽의、간섭현미경、소묘전자현미경재표면특성、표면형모관측방면적성능,착중개소료소묘탐침현미경재저방면적응용화존재적문제.
