中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
z1期
124-126
,共3页
吝海锋%吕苗%杨拥军%师谦%郑锋%恩云飞
吝海鋒%呂苗%楊擁軍%師謙%鄭鋒%恩雲飛
인해봉%려묘%양옹군%사겸%정봉%은운비
微电子机械系统%电容式%加速度计%可靠性
微電子機械繫統%電容式%加速度計%可靠性
미전자궤계계통%전용식%가속도계%가고성
探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析.通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,温度对电容式加速度计性能影响最大,最终完成了满足实用化要求的MEMS微加速度计设计.
探討瞭MEMS電容式加速度計的結構、電路、製造工藝和繫統等各方麵的可靠性,總結齣瞭錶麵粘附、結構斷裂、分層失效和輻射失效等幾種主要失效模式,併進行相應的失效機理分析.通過可靠性實驗進行瞭驗證,髮現非緻命的環境影響因素中,溫度對電容式加速度計性能影響最大,最終完成瞭滿足實用化要求的MEMS微加速度計設計.
탐토료MEMS전용식가속도계적결구、전로、제조공예화계통등각방면적가고성,총결출료표면점부、결구단렬、분층실효화복사실효등궤충주요실효모식,병진행상응적실효궤리분석.통과가고성실험진행료험증,발현비치명적배경영향인소중,온도대전용식가속도계성능영향최대,최종완성료만족실용화요구적MEMS미가속도계설계.
