天津大学学报
天津大學學報
천진대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
3期
338-342
,共5页
胡晓东%宋孝勇%栗大超%傅星%胡小唐
鬍曉東%宋孝勇%慄大超%傅星%鬍小唐
호효동%송효용%률대초%부성%호소당
微机电系统%振动特性%自由衰减%谐振频率%阻尼比
微機電繫統%振動特性%自由衰減%諧振頻率%阻尼比
미궤전계통%진동특성%자유쇠감%해진빈솔%조니비
为准确快速地对微结构的谐振频率和阻尼比进行测试和分析,组建了以激光多普勒测振仪为核心的微结构瞬态离面运动特性测试系统.附有压电驱动的微悬臂梁和微振动薄膜在斜波脉冲激励信号作用下产生自由衰减振动,通过激光多普勒测振仪将瞬态运动速度转换为模拟信号,经数据采集卡数字化后送入计算机,对其振动特性进行分析.实验测得MPA-41200-10型微悬臂梁谐振频率为48.676 kHz,阻尼比为0.002 9,微薄膜谐振频率为25.446 kHz,阻尼比为0.042.实验结果与采用频率扫描方法测试的结果进行了对比,证实自由衰减振动法对微结构振动特性的快速测试是可行、有效的.
為準確快速地對微結構的諧振頻率和阻尼比進行測試和分析,組建瞭以激光多普勒測振儀為覈心的微結構瞬態離麵運動特性測試繫統.附有壓電驅動的微懸臂樑和微振動薄膜在斜波脈遲激勵信號作用下產生自由衰減振動,通過激光多普勒測振儀將瞬態運動速度轉換為模擬信號,經數據採集卡數字化後送入計算機,對其振動特性進行分析.實驗測得MPA-41200-10型微懸臂樑諧振頻率為48.676 kHz,阻尼比為0.002 9,微薄膜諧振頻率為25.446 kHz,阻尼比為0.042.實驗結果與採用頻率掃描方法測試的結果進行瞭對比,證實自由衰減振動法對微結構振動特性的快速測試是可行、有效的.
위준학쾌속지대미결구적해진빈솔화조니비진행측시화분석,조건료이격광다보륵측진의위핵심적미결구순태리면운동특성측시계통.부유압전구동적미현비량화미진동박막재사파맥충격려신호작용하산생자유쇠감진동,통과격광다보륵측진의장순태운동속도전환위모의신호,경수거채집잡수자화후송입계산궤,대기진동특성진행분석.실험측득MPA-41200-10형미현비량해진빈솔위48.676 kHz,조니비위0.002 9,미박막해진빈솔위25.446 kHz,조니비위0.042.실험결과여채용빈솔소묘방법측시적결과진행료대비,증실자유쇠감진동법대미결구진동특성적쾌속측시시가행、유효적.
