轻金属
輕金屬
경금속
LIGHT METALS
2006年
11期
48-50
,共3页
蔡捷宏%姚若河%陈明鑫%许佳雄%陈岳政
蔡捷宏%姚若河%陳明鑫%許佳雄%陳嶽政
채첩굉%요약하%진명흠%허가웅%진악정
多晶硅薄膜%金属诱导%低温晶化
多晶硅薄膜%金屬誘導%低溫晶化
다정규박막%금속유도%저온정화
多晶硅薄膜材料已广泛应用于太阳能电池和集成电路制造等领域.本文综述了金属诱导非晶硅薄膜进行低温晶化的研究,讨论了金属诱导法的晶化机理,分析了金属诱导晶化过程中的主要影响因素,对不同的金属诱导法进行比较,展望了金属诱导法的进一步发展.
多晶硅薄膜材料已廣汎應用于太暘能電池和集成電路製造等領域.本文綜述瞭金屬誘導非晶硅薄膜進行低溫晶化的研究,討論瞭金屬誘導法的晶化機理,分析瞭金屬誘導晶化過程中的主要影響因素,對不同的金屬誘導法進行比較,展望瞭金屬誘導法的進一步髮展.
다정규박막재료이엄범응용우태양능전지화집성전로제조등영역.본문종술료금속유도비정규박막진행저온정화적연구,토론료금속유도법적정화궤리,분석료금속유도정화과정중적주요영향인소,대불동적금속유도법진행비교,전망료금속유도법적진일보발전.
