电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2007年
2期
224-227
,共4页
魏金宝%杨海钢%韩泾鸿%孙红光%夏善红
魏金寶%楊海鋼%韓涇鴻%孫紅光%夏善紅
위금보%양해강%한경홍%손홍광%하선홍
微传感器%读取电路%单芯片%集成系统
微傳感器%讀取電路%單芯片%集成繫統
미전감기%독취전로%단심편%집성계통
生化微传感集成系统是目前的研究焦点,本文以在线性区和饱和区两种模式下工作的pH-ISFET作为研究对象,提出ISFET微传感器与其信号读出电路的单芯片集成,并深入研究传感机理以及与标准CMOS兼容的敏感材料制备技术.整个芯片包含ISFET/REFET微传感差分对、双模式ISFET/REFET放大器、次级差分放大、参比电极Pt、恒流源等,采用新加坡Chartered半导体集成电路公司3.3V标准CMOS工艺流片.同时进行传感器芯片的pH响应实验测试,获得53mV/pH灵敏度.
生化微傳感集成繫統是目前的研究焦點,本文以在線性區和飽和區兩種模式下工作的pH-ISFET作為研究對象,提齣ISFET微傳感器與其信號讀齣電路的單芯片集成,併深入研究傳感機理以及與標準CMOS兼容的敏感材料製備技術.整箇芯片包含ISFET/REFET微傳感差分對、雙模式ISFET/REFET放大器、次級差分放大、參比電極Pt、恆流源等,採用新加坡Chartered半導體集成電路公司3.3V標準CMOS工藝流片.同時進行傳感器芯片的pH響應實驗測試,穫得53mV/pH靈敏度.
생화미전감집성계통시목전적연구초점,본문이재선성구화포화구량충모식하공작적pH-ISFET작위연구대상,제출ISFET미전감기여기신호독출전로적단심편집성,병심입연구전감궤리이급여표준CMOS겸용적민감재료제비기술.정개심편포함ISFET/REFET미전감차분대、쌍모식ISFET/REFET방대기、차급차분방대、삼비전겁Pt、항류원등,채용신가파Chartered반도체집성전로공사3.3V표준CMOS공예류편.동시진행전감기심편적pH향응실험측시,획득53mV/pH령민도.
